產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

Park NX20 300mm是業(yè)界大樣品原子力顯微鏡，支持300mmX300mm全程機動化。

新升級的Park NX20系統(tǒng)專為失效分析和質(zhì)量控制實驗室設計，可有效地檢測整個300mm晶圓，且無需任何繁瑣的樣品位移。

經(jīng)檢驗的原子力顯微鏡性能和單擊-原子力顯微鏡自動化取消了樣本調(diào)整的需求, 并使ParkNX2 0的掃描過程盡可能高效和便于使用。

通過我們的SmartScan測量界面，用戶可以在整個300mmx300mm 區(qū)域輕松實現(xiàn)可靠與可重復的順序多站點測量。

NX20 300 mm從而成為需要掃描大樣品的FA、QA和QC工程師的。

靈活的300mm樣品吸盤--Park NX20 300mm真空吸盤支持各種尺寸、 形狀和類型的晶圓,讓用戶幾乎可準確掃描任何樣品。

特點FEATURES

專為大樣品晶圓檢測而建

NX20 300 mm進行了全新設計,可大樣品的測量。整個300mm晶圓區(qū)域可進行低噪聲原子力顯微 鏡測量分析。這幵啟了一個全新的自動化測量范圍，讓工程師可以更快捷、更簡便、更精確地幵展工作。

NX20支持300mm樣品臺，性能已被證實

因其的易用性和自動化以及不受影響的精度,NX20已是FA、QA和QC工程師的。

憑借其支持300mm電動XY軸工作臺的擴大平臺,NX20 300mm更上一層樓，允許用戶輕松地以的精度檢測更大的樣品。

Park讓精確測量更為簡單

ParkNX20配備了我們的SmartScan操作系統(tǒng)，使其成為市場上最易于使用的原子力顯微鏡之一。 通過直觀極為*的界面，即便是未經(jīng)培訓的用戶無需也可快速掃描大樣品。

這使高級工程師能夠集中精力解決更大的問題和幵發(fā)更好的解決方案。

在完整300mm晶圓上掃描多個位點

SmartScan允許用戶從位點到位點和樣品到樣品的層面上,借助基于網(wǎng)格和晶圓的模式，進行自動順序測量 表面形態(tài)、高度和表面粗糙度的比較。這可以大大提高掃描大樣品時的用戶便利性和生產(chǎn)效率。