項目

參數(shù)

測量范圍

*大直徑

ф300mm

*小內(nèi)徑

ф5mm

*大高度

420mm

主軸精度

徑向誤差

±(0.025+5H/10000)μm

軸向誤差

±(0.025+6X/10000)μm

回轉(zhuǎn)軸線與Z軸導軌平行度

1.2μm/200mm（母線基準）

工作臺

臺面直徑

φ150mm

回轉(zhuǎn)直徑

φ400mm

承載重量

30Kg

調(diào)整范圍

調(diào)偏心±3mm ; 調(diào)水平±2°

旋轉(zhuǎn)速度

0-12 rpm

立柱

直線度（窄范圍）

0.3μm /100mm

直線度（全范圍）

0.8μm /300mm

水平臂

水平移動距離

160mm

移動速度

0.5-6mm/s 或手動

傳感器

sensor

量程

500μm (半徑差)  

分辨率Resolution

0.005μm

測針形狀

φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm

紅寶石球測頭各一個

測力

1-12g

數(shù)據(jù)采集

進口光柵14400點/周

放大倍率

任意至*大20萬倍

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m3/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度(T)：10～30℃；相對濕度(RH)：＜85%

部件名稱

項目名稱

機械部分

主機儀器架               x1

大理石工作臺面               x1

高精密氣浮主軸       x1

氣浮立柱系統(tǒng)         x1

橫導軌移動裝置             x1

調(diào)心調(diào)平工作臺

臺面直徑Ф150mm、臺面高度50mm

調(diào)整范圍：調(diào)偏心±3mm ; 調(diào)水平±2°

精密三爪卡盤

外尺寸裝夾范圍：ф1 mm ~~ф81mm

內(nèi)尺寸裝夾范圍：ф31 mm ~~~ф70 mm

空氣過濾系統(tǒng)  x1

電器部分

電器控制系統(tǒng)              x1

圓光柵編碼器         x1

電感傳感器                    x1

φ2x10mm、φ1x10mm、φ0.5x10mm  紅寶石球測頭各一個

電腦                                  x1

HP噴墨打印機                x1

測量軟件                              x1

標準件

標準玻璃半球                x1

橢圓標準件                       x1

圓柱標準器                  x1