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TEL 二手氣相化學(xué)沉積CVD設(shè)備triase

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-14
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18334
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公司主營實驗室分析檢測儀器設(shè)備,以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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半導(dǎo)體工藝技術(shù)一直在不斷縮小規(guī)模并朝著3D結(jié)構(gòu)發(fā)展,這對薄膜沉積提出了挑戰(zhàn)
TEL 二手氣相化學(xué)沉積CVD設(shè)備triase 產(chǎn)品詳情

半導(dǎo)體工藝技術(shù)一直在不斷縮小規(guī)模并朝著 3D 結(jié)構(gòu)發(fā)展,這對薄膜沉積提出了挑戰(zhàn)。Trias  EX-II TiN(氮化鈦)是一種*的 300mm 單晶片沉積系統(tǒng),適用于高速 ASFD ,可實現(xiàn)具有出色晶片內(nèi)均勻性和高臺階覆蓋特性的高質(zhì)量薄膜形成。該系統(tǒng)采用優(yōu)化的反應(yīng)器設(shè)計和新的氣體注入模塊,即使在的半導(dǎo)體器件制造中也能實現(xiàn)高生產(chǎn)率,并用于各種應(yīng)用,包括接觸勢壘、電容器電極、字線勢壘和金屬柵極的形成。三重奏EX-II TiN Plus 為復(fù)雜結(jié)構(gòu)上的 TiN 保形金屬沉積提供了出色的均勻性。此外,產(chǎn)品陣容中還新增了兩款型號。Trias EX-I TiN Plus HT 專門用于高溫 TiN 沉積,旨在通過降低雜質(zhì)水平獲得更低的接觸電阻薄膜,而 Trias EX-II  TiON(氧氮化鈦)提供低漏電流 TiON 薄膜沉積可用于 MIM 電容器電極的形成。所有這些型號都具有靈活的設(shè)計,最多可以集成四個腔室,并且單個腔室已經(jīng)優(yōu)化了清潔技術(shù),以實現(xiàn)高生產(chǎn)率和低 CoC。

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關(guān)鍵詞:電容器
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