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二手現(xiàn)貨 雙電子束電鏡 FEI XL830

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值18135
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公司主營實驗室分析檢測儀器設(shè)備,以實驗室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設(shè)計出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設(shè)體系,達到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為*的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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樣品容量:全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品
二手現(xiàn)貨 雙電子束電鏡 FEI XL830 產(chǎn)品詳情

樣品容量:全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安裝樣品。Loadlock允許樣本傳輸時間<2min;

操作平臺:在x軸和y軸上進行200mm的平臺運動。Z軸范圍15mm。連續(xù)旋轉(zhuǎn)。傾斜范圍-5至55度。精度<1um絕對平均值且<2um(85%公差間隔)超過25mm;

電子束性能:肖特基場發(fā)射槍,浸沒式最終透鏡分辨率3nm,5kV 5mm WD。電壓范圍為200V至30kV;

離子束性能:1500小時鎵離子源。7nm分辨率。工作電壓為5kV至30kV。束流1pA至11nA;

探測器:通過透鏡檢測器(TLD)和連續(xù)雙節(jié)點電子倍增器(CDEM)進行二次電子、背散射電子和二次離子檢測。紅外CCD攝像機,用于樣品的低倍率圖像;

束化學(xué):XeF2用于Si和SiO2研磨增強。離子束和電子束沉積六羰基鎢,用于沉積鎢金屬焊盤、通孔和線路。兩個額外氣體噴射器的容量。TEO用于沉積絕緣膜,H2O用于增強碳基材料的研磨,鉑和鉬用于沉積導(dǎo)線和通孔;

樣品操縱器:用于從晶圓基板提取銑削薄片樣品的軟件控制探針。

雙電子束電鏡 FEI XL830

打開后蓋的FEI XL830系統(tǒng)視圖

FEI XL830內(nèi)部圖

FIB截面

用于薄板提取的探針

加載鎖打開,放置晶片

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