Nikon ARF浸入式光刻機(jī) NSR-S630D進(jìn)一步提高了NSR-S622D的精度和生產(chǎn)率，它采用了以高精度和生產(chǎn)率著稱(chēng)的流線型平臺(tái)，適用于10納米范圍內(nèi)的工藝量產(chǎn)（多重圖案化*1適配）。它是一種開(kāi)發(fā)設(shè)備。除了進(jìn)一步提高在多重圖案化工藝中很重要的重疊精度外，還提高了產(chǎn)量。

ARF浸入式光刻機(jī)NSR-S630D通過(guò)提高投影鏡頭性能、使用光柵尺位置測(cè)量編碼器以及改進(jìn)溫度空調(diào)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了更高的吞吐量以及MMO * 2的進(jìn)一步改進(jìn)。以2.5納米以下的MMO和每小時(shí)250張（96次）的吞吐量實(shí)現(xiàn)了的精度和生產(chǎn)率，有助于客戶(hù)設(shè)備生產(chǎn)線的穩(wěn)定量產(chǎn)。

Streamline 平臺(tái)的主要特點(diǎn)

1. 顯著提高疊加精度的測(cè)量系統(tǒng)：Bird's Eye Control

除了已經(jīng)采用的結(jié)合編碼器和干涉儀的混合系統(tǒng)用于晶圓載物臺(tái)位置測(cè)量外，還使用二維編碼器進(jìn)行分劃板載物臺(tái)位置測(cè)量，以減少空氣波動(dòng)對(duì)每個(gè)位置測(cè)量的影響舞臺(tái)... 結(jié)果，疊加精度得到了很大的提高。

2. 顯著提高吞吐量的新測(cè)量技術(shù)：Stream Alignment

五眼* 3的FIA（現(xiàn)場(chǎng)圖像對(duì)準(zhǔn)）可在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)測(cè)量。即使在測(cè)量靠近所有鏡頭的多個(gè)點(diǎn)時(shí)，也可以限度地減少吞吐量的下降。

• * 3FIA 5 眼型：對(duì)準(zhǔn)顯微鏡已從傳統(tǒng)的 1 眼型更改為 5 眼型（5 單元型）。

3. 提高可維護(hù)性的新模塊化結(jié)構(gòu)：Modular 2 Structure

通過(guò)使設(shè)備配置成為分層模塊化結(jié)構(gòu)，客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)的啟動(dòng)時(shí)間縮短了，零件更換變得更加容易。結(jié)果，可維護(hù)性得到了極大的提高。