等離子源：

等離子體射頻電源：110V 或220VAC, 50/60 Hz,<100W

輸出頻率： 13.56 MHz

三檔射頻功率大小： 7.2W. 10.5W 和 18W （可調(diào)節(jié)）

腔體尺寸：3"OD x 2.7"ID x 16"L

儀器中帶有一套不銹鋼密封法蘭使得腔體內(nèi)部的真空度為10^-2 torr（用機(jī)械泵)

滑動法蘭：

•有一滑軌法蘭安裝于移動架上，以便于樣品的放入和取出。

樣品可以放入加熱線圈內(nèi)，以達(dá)到更好的加熱效率和溫度的均勻性。

•加熱圈尺寸：50mm OD x 40mm ID x 70mm，可使樣品達(dá)到的溫度為400℃

•加熱圈上套有一2" ID x 75mmL的石英罩，以減小熱量損失

•溫控方面:采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，同時可設(shè)置30段升降溫程序，控溫精度為：+/-1℃

輸入電源： AC220V

兩通道混氣系統(tǒng)：

•混氣箱上安裝有兩個浮子流量計，其量程為10-100SCCM

•三個機(jī)械壓力表：-0.1-0.15 MPa,

•混氣箱上安裝有304不銹鋼針閥

•配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

•混氣箱尺寸：340Lx300Dx 180H, mm （13.4"x12"x7")!

凈重: 14 1bs.

真空和氣體接口：
標(biāo)準(zhǔn)的真空配置有

•一套3"的不銹鋼法蘭（上面安裝有KF-25的真空泵接口，一個1/4"卡套接頭和不銹鋼針閥)

•一根KF25的波紋管（長度為1m)和三KF25卡箍

•一個數(shù)字式真空顯示計

•等離子腔體中可以通入多種惰性性氣體，如N2, Ar, Air,以及各種混合性氣體。

•可以調(diào)整腔體內(nèi)的壓力或是進(jìn)氣流量，確保等離子體達(dá)到樣品處

(注意:不可通入易燃易爆性氣體)

真空泵：

•儀器中配有一雙旋機(jī)械真空泵，其抽氣速率為120L/min,

進(jìn)氣口為KF25接口，可以使腔體內(nèi)真空度小于30mTorr

移動架：

設(shè)備中配有— 600L x 600W x600H （mm)的移動架，整個CVD系統(tǒng)可以安置于其上面

儀器尺寸：

•等離子源： 8.5"Hx10"Wx 8"D

•溫控盒： 4"Hx10"Wx 8"D

移動架：600 x600x600mm

重量：
701b(包含真空泵)

質(zhì)保期：

一年質(zhì)保期（不包含石英管和密封圈）