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OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL 三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

參考價
面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-
  • 品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時間2025-09-22
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)上海市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量437
  • 人氣值4138
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OTF-1500X-III-4CV-PE-SL是一款三溫區(qū)1500℃的PECVD管式爐系統(tǒng),該設(shè)備由射頻電源、1500℃三溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)可廣泛應(yīng)用于生長納米線、石墨烯及薄膜材料領(lǐng)域。
三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品特點:

•帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭,便于觀察等離子發(fā)光(圖1);

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強,從而顯著降低實驗溫度;

•四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;

•此款設(shè)備可安裝控制模塊,將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦(圖2、3);

•此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表(圖4)。

image.pngimage.pngimage.pngimage.png 

基本參數(shù):

•工作溫度1500℃(<30min);連續(xù)使用溫度1400℃;

•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),控溫精度:±1℃,帶有超溫和斷偶保護;

•·輸入電源: 208-240V,AC,單相;功率:6.6 KW;

•內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

•注意:此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

 

射頻電源:

image.png 

真空系統(tǒng):

•·采用TRP-12的雙旋真空泵;

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統(tǒng)(可選):

•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

•流量范圍:

image.png 

•電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

•氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量:

•爐體尺寸: 550mm L'380mm W'520mm H

•爐體下端移動柜:1800mm L'600mm W'600mm H

•凈重:100 kg

•運輸重量:550 kg

承諾:

一年保質(zhì)期,終身維護,不包括爐管,硅膠密封圈和加熱元件


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