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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司坐落在合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號(hào)，是一家專(zhuān)注于新材料、新能源、裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的*，合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專(zhuān)家顧問(wèn)，其中千人一位，青年千人2位，教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，部分實(shí)驗(yàn)室對(duì)外開(kāi)放。涉及領(lǐng)域包括，石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥?、OLED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。另外公司擁有智能高低溫CVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐，各種高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動(dòng)自動(dòng)壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、各種功能的球磨機(jī)、金屬陶瓷切磨拋設(shè)備、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等設(shè)備。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

設(shè)備簡(jiǎn)介我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象

前端預(yù)熱PECVD 產(chǎn)品詳情

設(shè)備簡(jiǎn)介

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū)，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài)，這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。該款設(shè)備是全自動(dòng)Plasma增強(qiáng)CVD系統(tǒng)（PECVD），系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)滑動(dòng)溫區(qū)，連續(xù)可控制溫度及Plasma強(qiáng)度。PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：

1、電子密度高10⁹-10¹²cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。

2、通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單

一、前端預(yù)熱器

使用溫度	400℃
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)（時(shí)間和距離）設(shè)定為程序控制。
加熱長(zhǎng)度	100mm
加熱原件	電阻絲

二、加熱爐

溫度	1200℃
使用溫度	≤1100℃
爐膛有效尺寸	Φ100mm（適用于2-3英寸樣品，爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。）
爐膛材料	氧化鋁、高溫纖維制品
熱電偶類(lèi)型	K型熱電偶
控溫精度	±1℃
控溫方式	30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為7”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序。
加熱長(zhǎng)度	440mm
恒溫長(zhǎng)度	200mm
加熱原件	電阻絲
供電電源	單相，220V，50Hz

三、PE系統(tǒng)

功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
功率輸出范圍	0W~500W
反射功率	100W
射頻輸出接口	50 Ω, N-type, female
功率穩(wěn)定度	≤5W
諧波分量	≤-50dbc
供電電壓	單相交流（187V-253V）頻率50/60HZ
整機(jī)效率	>=70%
功率因素	>=90%
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷

四、三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)

連接頭類(lèi)型	雙卡套不銹鋼接頭
標(biāo)準(zhǔn)量程（N₂)	50sccm，100sccm、500sccm（可根據(jù)用戶(hù)要求定制）
準(zhǔn)確度	±1.5%F.S
線(xiàn)性	±1%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	氣特性：1～4 sec，電特性：10 sec
工作壓差范圍	0.1～0.5 MPa
壓力	3MPa
接口	Φ6,1/4''
顯示	4位數(shù)字顯示
工作環(huán)境溫度	5~45高純氣體
壓力真空表	－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止閥	Φ6
內(nèi)外雙拋不銹鋼管	Φ6

五、低真空

空氣相對(duì)濕度	≤85%
工作環(huán)境	5℃～40℃
工作電電壓	220V±10% 50~60HZ
功率	1KW
抽氣速率	10m³/h
極限真空	5X10^-1Pa
工作壓力范圍	1.01325X10⁵～1.33X10^-2Pa
耐壓值	0.03MPa
容油量	1.1L
進(jìn)氣口口徑	KF25
排氣口口徑	KF25
噪音	50dB
連接方式	采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連

關(guān)鍵詞：控制系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn) 截止閥

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
聲波過(guò)球指示器	面議	北京市	北京杜克泰克科技有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
渦旋混合器	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
UZY600 系列音叉物位控制器	面議		北京瑞普三元儀表有限公司	2026-09-28	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
雨量氣象監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-09-23	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
高壓電纜接地環(huán)流在線(xiàn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	常州市	常州鼎諾智能電氣有限公司	2026-09-23	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)
螺紋工件一鍵批量閃測(cè)儀	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2026-09-23	在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

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