SJ6000高精度激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

SJ6000高精度激光干涉儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進(jìn)行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。

功能廣

可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量；

可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

導(dǎo)軌直線度檢測

技術(shù)規(guī)格

軟件強(qiáng)

友好的人機(jī)界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

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簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專屬模板定制。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

中圖儀器SJ6000激光干涉儀配備的EC20環(huán)境補(bǔ)償單元，由環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)（內(nèi)置濕度傳感器和氣壓傳感器）、空氣溫度傳感器和3個材料溫度傳感器組成，可實(shí)現(xiàn)對空氣溫度、濕度、大氣壓力和材料溫度的實(shí)時高精度檢測。

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元

EC20環(huán)境補(bǔ)償單元在出廠前，會依照相關(guān)計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)對各環(huán)境參量進(jìn)行精確校準(zhǔn)，通常情況下建議24個月校準(zhǔn)一次。在使用EC20環(huán)境補(bǔ)償單元過程中，在不影響測量光路和被測物體運(yùn)動的前提下，建議將環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)和空氣溫度探頭就近于測量光路中間處放置。