Leica離子減薄儀EM RES101是一臺全計(jì)算機(jī)控制的多功能離子減薄系統(tǒng),
主要特點(diǎn)
1、減薄角度可調(diào)由0º至90º
2、一體化設(shè)計(jì),重復(fù)性實(shí)驗(yàn)設(shè)備,可靠具操作性
3、全電腦控制,精確的參數(shù)調(diào)整,運(yùn)行中無需人干涉
4、鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
5、制冷系統(tǒng),銅傳導(dǎo),確保TEM,SEM在低溫下操作
6、主機(jī)內(nèi)置2級泵,確保高真空
7、減少裝卸時間,高效率
8、操作簡便直觀,帶自保護(hù)防止離子溢出與過熱功能
9、法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動終止功能
10、裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變
11、減薄過程中離子能量高低可調(diào)
12、內(nèi)置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況
13、可編程,觸摸屏設(shè)計(jì),直觀操作






















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