1.設(shè)備名稱：

    等離子體材料表面改性試驗裝置

2.設(shè)備功能：

    在真空條件下，注入不同的單一介質(zhì)氣體或按比例混合的混合介質(zhì)氣體，然后施加設(shè)定的高電壓，激發(fā)出低溫等離子體轟擊材料表面，實現(xiàn)金屬、陶瓷、塑料等材料基片的表面改性。同時設(shè)備具有進行氟氣的特殊氣體的表面滲透處理的功能。在氟化腔體和真空等離子腔體之間可通過真空直線運動機構(gòu)以實現(xiàn)樣品基片在不同腔體之間的轉(zhuǎn)移。

3.設(shè)備特點：

   ①.設(shè)備具有兩個真空腔體，一個等離子放電腔體，一個氟化腔體。兩個腔體之間采用電動高真空閥門隔離，根據(jù)需要即可分開使用也可分別使用。通過排氣路的高真空蝶閥的切換可以實現(xiàn)真空氣路方向的改變。；

   ②.等離子放電腔體采用了下平底，上球罐封頭的圓筒型真空腔體結(jié)構(gòu)，容積約30L。腔體采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面拋光處理。腔體上端設(shè)置了特殊設(shè)計的真空高壓引入電極，可引入電壓50KV。腔體手孔門采用了三點鎖緊的快開型真空門，真空門上設(shè)置了石英玻璃視窗，腔體上另外具備了兩個呈90度分布的石英玻璃觀察窗，方便試驗過程便于觀察和攝像。在腔體上具有與腔體高度絕緣的專用地電極，有方便通信和進行內(nèi)部元件控制的真空航插接頭和真空NBC接頭，接入了符合真空密封等級的光纖以滿足就近觀察試驗區(qū)域的要求。腔體安裝了電阻真空規(guī)和超高精度的數(shù)字真空壓力表，以滿足對不同真空壓力分段的測量。腔體預(yù)留了電離真空規(guī)接口和高真空分子泵接口，在任何需要的情況下加裝高真空裝置即可實現(xiàn)高真空的試驗需要。

    ③.氟化腔體采用上下平底的圓筒型真空結(jié)構(gòu)，腔體容積約4L。在氟化腔體一端設(shè)置了運動機構(gòu)安裝法蘭并安裝了真空直線運動機構(gòu)。為了避免使用過程中對不銹鋼腔體腐蝕，氟化腔體內(nèi)外表面采用了*的高溫聚四氟乙烯噴涂工藝進行了防腐處理，涂層致密牢靠，可以耐受HF酸的腐蝕。

    ④.為了能夠控制試驗腔體內(nèi)的氣體壓力和成分，等離子放電腔體設(shè)置了兩路充氣通路，氟化腔體采用了一路充氣通路。充氣通路均采用了精密高真空微調(diào)閥作為充氣控制閥。通過控制充氣閥開度，真空微調(diào)閥可以將充氣的壓力變化控制在2Pa以內(nèi)。

    ⑤.設(shè)備所涉及的真空腔體及管路系統(tǒng)均按照高真空標準設(shè)計，以便滿足設(shè)備升級的需要。

4.設(shè)備主要性能：

    ①.真空性能

    低配（未加裝高真空系統(tǒng)）：真空0.3Pa

    高配（加裝高真空系統(tǒng)）：真空5×10^-4Pa

    設(shè)備總體漏率：2×10^-6Pa·m³/s

    ②.正壓試驗壓力

    0.2MPa

    ③.接入電壓

    標準：50KV

    非標：100KV

    ④.運動機構(gòu)

    標準：行程：650mm，手搖旋轉(zhuǎn)推進，自動抓取。

    非標：行程定制，推進可電動，抓取方式可定制

    ⑤.系統(tǒng)控制

     低配：隔離閥門電動，氣路切換手動，泵手動

     高配：隔離閥門電動，氣路切換電動，泵系統(tǒng)PLC控制