上海加惠儀器儀表有限公司是一家*，多年來一直從事測試儀器儀表設備的開發(fā)、研制、代理、銷售和服務工作。在中國的幾大主要城市都設有自己的分公司或辦事處，營銷網(wǎng)絡遍及全國的東南西北。
公司自成立以來，經(jīng)全體員工的不懈努力和不斷創(chuàng)新，在短短的數(shù)年間就發(fā)展成為儀器儀表行業(yè)的*單位。得到了廣大用戶和生產廠家的*好評，并被美國福祿克、美國安捷倫、美國雷泰、美國泰克、德國KK、德國EPK、日本共立、日本理音、中國臺灣固緯、中國臺灣泰仕、德國賽多利斯、瑞士梅特勒等的跨國公司*為國內一級代理或特約經(jīng)銷商。
　主要銷售的儀器有：紅外測溫儀、涂層測厚儀、聲級計、測振儀、轉速表、測溫儀、風速儀、溫濕度儀、粗糙度儀、硬度計、測力計、兆歐表、萬用表、鉗形表、示波器、數(shù)字示波器、信號源、電源、頻譜分析儀、功率分析儀、等測試儀器尤其是紅外測溫儀、涂層測厚儀、兆歐表等設備診斷儀器和無損檢測儀器在行業(yè)的應用上我們有豐富的經(jīng)驗！
在服務上我們特設技術部、維修部，并高薪聘請經(jīng)驗豐富的專家為技術指導，作為公司發(fā)展的保證。為客戶提供*的產品和*的服務，使客戶買的放心，用著順心。我們公司所銷售的儀器均可享受一年免費保修，終身維護，為用戶*消除后顧之憂。

我們的宗旨是“至誠致信互惠互利共同發(fā)展以技術為核心以市場為導向以服務為根本”。

主要*地區(qū)：：上海-浙江-杭州-江蘇-南京-無錫-蘇州-北京-天津-重慶-沈陽-長春-吉林-哈爾濱-石家莊-唐山-西安-太原-濟南-南京-杭州-成都-貴陽-昆明-西藏-拉薩-新疆-烏魯木齊-內蒙古-呼和浩特-包頭-銀川-合肥-福州-南昌-武漢-長沙-南寧-海口-河北-秦皇島-張家口-保定-廊坊-唐山-山東-青島-淄博-煙臺-威海-遼寧省-大連-鞍山-撫順-丹東-黑龍江-大慶-齊齊哈爾-牡丹江-佳木斯-吉林省-延吉-四平-山西省-大同-長治-晉城-四川-攀枝花-自貢-宜賓-雅安-上海-浙江-杭州-廈門-寧波-昆山-嘉興-湖州-常州-保定-錦州-湛江-遼寧-云南-陜西-青海-銀川-北海-溫州-常州-無錫-蘇州-南京-鎮(zhèn)江-揚州-南通-合肥-徐州-常熟.

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這是HORIBA用于數(shù)字質量流量控制器的*型號。它具有多量程/多氣體功能，使用戶可以在現(xiàn)場快速輕松地更改氣體類型或滿量程流量。該質量流量控制器具有+/- +/- 1.0％SP的高精度，壓電執(zhí)行器閥，高速響應和全金屬特性，適用于提高過程良率和簡化零件管理。數(shù)字/模擬，DeviceNet™和EtherCAT®通信均可用。

日本堀場 HORIBA高性能質量流量控制器SEC-Z512MGX/SEC-Z522MGXN/SEC-Z532MGX/SEC-Z542MGX/SEC-Z552MGX/SEC-Z562MGX/SEC... 產品詳情

商品詳情

高性能數(shù)字式質量流量控制器 SEC-Z500X

型號 Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，SEC-Z514MGX，SEC-Z524MGXN，SEC-Z534MGX，SEC-Z544MGX，SEC-Z554MGX，SEC-Z564MGX，SEC-Z512MGX，SEC-Z522MGXN，SEC-Z532MGX，SEC-Z542MGX，SEC-Z552MGX，SEC-Z562MGX，

流量范圍0.5sccm-500SLM

日本horiba堀場/厚禮博品牌的SEC-Z500系列屬于高性能數(shù)字式熱式質量流量控制器，主要應用MOCVD、PECVD等設備。

概要

熱式質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA銷售量高的數(shù)字式氣體質量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現(xiàn)高精度± 1.0% S.P.，快速響應，有效提高良率及簡化備件管理。

特征

高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補償。此功能實現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實的反應實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標準氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真實氣體精度確認。

高速響應
裝載“變量PID系統(tǒng)”可實現(xiàn)兩設定點之間1秒內快速響應。變量PID基于流量設定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。

多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。

關鍵詞：質量流量控制器流量控制器質量流量計氣體質量流量控制器標準

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