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JIMA(日本檢驗(yàn)儀器制造商協(xié)會(huì))分辨率測試圖 JIMA RT RC-05B 是使用新半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的顯微圖。

日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡產(chǎn)品簡介：

JIMA(日本檢驗(yàn)儀器制造商協(xié)會(huì))分辨率測試圖 JIMA RT RC-05B 是使用新半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的顯微圖。

它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率，并確保您的微焦點(diǎn)或納米分辨率 X 射線檢測系統(tǒng)的高質(zhì)量結(jié)果。JIMA RT RC-05B 支持 3 微米到 50 微米之間的分辨率。這對應(yīng)于 6 微米和 100 微米之間的焦點(diǎn)尺寸。

日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡應(yīng)用：

修復(fù) X 射線系統(tǒng)操縱器上的分辨率測試。選擇探測器、樣品和試管的距離，以實(shí)現(xiàn)高幾何放大倍率。

選擇所需的 X 射線參數(shù)。將分辨率測試放置在管的前面，使線條圖案可見。使用操縱器移動(dòng)測試圖，以便看到下一個(gè)較小的線對束。

只要線條清晰可見，就繼續(xù)。焦點(diǎn)大小近似計(jì)算為小分辨率乘以 2。

注意：盡量減少輻射的持續(xù)時(shí)間。在手術(shù)過程中關(guān)閉 X 射線。目標(biāo)前面的熱量可能會(huì)損壞測試圖。

日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡技術(shù)參數(shù)：

狹縫尺寸：3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45 和 50 微米

測試框架尺寸：40 x 30 x 3 mm (WxHxD)

芯片尺寸：8 x 8 x 0.2 mm (WxHxD)

吸收材料厚度：>1.0 µm 金

所有圖案尺寸均已通過 SEM 在典型點(diǎn)處測量。數(shù)據(jù)顯示在認(rèn)證文件中。

圖案精度：[-10%, +10%]以內(nèi)

工作溫度范圍：10° 至 70°C。

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