一、產(chǎn)品描述

主要利用電容探測(cè)技術(shù)，進(jìn)行高精度無(wú)接觸的檢測(cè)。非接觸式測(cè)試半導(dǎo)體材料、石墨烯、透明導(dǎo)電膜、碳納米管、金屬等材料的厚度特性。

二、主要特點(diǎn)

本儀器為非接觸，非損傷測(cè)試，具有測(cè)試速度快，重復(fù)性佳，測(cè)試敏感性高，可以直接測(cè)試產(chǎn)品片等優(yōu)點(diǎn)。

三、測(cè)試原理

本測(cè)試系統(tǒng)采用2個(gè)電容傳感器A 和 B，以固定A 和 B的間距D，測(cè)試 A和 B離開被測(cè)物表面的距離，最后用已知的D-（A+B）得出被測(cè)物的厚度。

四、技術(shù)參數(shù)

五、 儀器使用環(huán)境

1)     環(huán)境溫度：23 ±5°C

2)     環(huán)境濕度：（65±20）%RH

3)     電源要求：額定電壓（220±22）VAC  頻率（50±1）Hz

六、安裝與驗(yàn)收

1)     物流運(yùn)輸；

2)     儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個(gè)工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗(yàn)收；

3)     驗(yàn)收合格后甲方為乙方簽字確認(rèn)。

七、技術(shù)支持與培訓(xùn)

1)     乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時(shí)內(nèi)回饋；

2)     乙方負(fù)責(zé)在驗(yàn)收過程中對(duì)甲方技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)培訓(xùn)；

3)     在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費(fèi)技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費(fèi)用；

八、質(zhì)保期

本儀器，乙方提供自驗(yàn)收之日起1年質(zhì)保

九、發(fā)貨備件清單