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1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)(低真空、高真空)型號:BTF-1200C-II-CVD

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地合肥市
  • 更新時間2023-11-21
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)合肥市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量296
  • 人氣值6930
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安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司坐落在合肥市高新區(qū)科學(xué)大道110號,是一家專注于新材料、新能源、裝備設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)與一體的*,合肥市科技小巨人培育企業(yè)。公司擁有多名專家顧問,其中千人一位,青年千人2位,教授3位。公司擁有400平米的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,部分實(shí)驗(yàn)室對外開放。涉及領(lǐng)域包括,石墨烯、碳納米管、高溫?zé)晒夥?、OLED有機(jī)小分子材料、PECVD系統(tǒng)等。另外公司擁有智能高低溫CVD系統(tǒng)、各種真空氣氛管式爐,各種高低溫箱式爐、等離子清洗設(shè)備、RF濺射設(shè)備、各種壓力的手動自動壓片機(jī)、各種功能尺寸的手套箱、各種功能的球磨機(jī)、金屬陶瓷切磨拋設(shè)備、氧化鋯齒科燒結(jié)爐等設(shè)備。

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設(shè)備特點(diǎn)  此套設(shè)備是由1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)及低真空系統(tǒng)組成,根據(jù)工藝要求亦可選配高真空系統(tǒng)
1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)(低真空、高真空)型號:BTF-1200C-II-CVD 產(chǎn)品詳情

設(shè)備特點(diǎn)

  此套設(shè)備是由1200℃雙溫區(qū)開啟式管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)及低真空系統(tǒng)組成,根據(jù)工藝要求亦可選配高真空系統(tǒng)。設(shè)備可以抽真空通氣體保護(hù)。氣動彈簧支撐結(jié)構(gòu)使開啟更加方便、簡捷,使用者可直接將樣品放到恒溫區(qū)加熱,在快速降溫過程,透明石英管腔體可直觀的看到樣品燒結(jié)狀態(tài)。法蘭采用卡箍快捷接頭,減去了取放料時的繁瑣操作, 爐管工件橫穿與上下各8組進(jìn)口電阻絲的爐膛,溫場均勻,內(nèi)外溫差可控制在3度左右。此款系統(tǒng)廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料、新工藝領(lǐng)域。

 

加熱區(qū)參數(shù)

 加熱元件:電阻絲

 加熱區(qū)長度:200+200mm

 恒溫區(qū)長度:100+100
 工作溫度:1100℃
 溫度:1200℃
 升降溫速率:≤30℃/min

 推薦升溫速度:15度/分鐘

 爐管:高純度石英管Φ25/50/60/80/100x1000mm  (管徑可選)

 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

 控溫精度:±1℃

 爐門結(jié)構(gòu):開啟式
 工作電源:AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz

 額定功率: 5KW

 標(biāo)準(zhǔn)配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

 外型尺寸:590×380×600mm

 可選配單溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

 質(zhì)量流量計(jì)參考量程(N2):100sccm、200sccm、500sccm (量程可選)

 準(zhǔn)確度:±1.5%

 線性:±0.5~1.5%

 重復(fù)精度:±0.2%

 響應(yīng)時間:≤10 sec

 工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa

 壓力:3MPa

 接口:Φ6,1/4''

 顯示:4位數(shù)字顯示

 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體  

 內(nèi)外雙拋不銹鋼管:Φ6

 壓力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

 截止閥:Φ6

 連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

 可選配一路、兩路、三路、四路、五路等以上質(zhì)量流量計(jì)。

 

 

 

 

 

低真空系統(tǒng)參數(shù)

 

抽速:10m³/h

極限真空度:5*10-1pa

電源:220V 50HZ

電機(jī)功率:0.4kw  

進(jìn)排氣連接口:KF25

用油量:1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速:1440rpm

工作環(huán)境溫度:5-40℃

噪音:≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù):

1.配用規(guī)管:電阻規(guī),

2.測量范圍: 105~10-1Pa,

3.測量路數(shù): 1路

4.控制范圍: 5×103~5×10-1Pa,

5.控制方式:繼電器觸點(diǎn)輸出,負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載,

6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

7.功耗: 20W

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

高真空系統(tǒng)參數(shù)

 

空氣相對濕度:≤85%

工作電壓:AC220V±10%  50/60HZ

功率:1KW

系統(tǒng)整體極限真空度:10-5Pa

實(shí)驗(yàn)真空度:10-3Pa

外形尺寸:850×600×650mm

機(jī)械泵:

抽氣速率:10m³/h

容油量:1.1L

電機(jī)功率:400W

極限壓強(qiáng):6×10-2Pa

分子泵:

抽氣速率:100L/S

極限壓強(qiáng):6×10-6Pa

啟動時間:<2min

額定轉(zhuǎn)速:4300轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:環(huán)境溫度5-32℃時,風(fēng)冷;5-40℃時,水冷。

分子泵控制器:

電壓:220V±22V

啟動電流:≤7A

輸入頻率:47HZ~63HZ

輸出功率:≤150W

加速電壓:≤40V

加速時間:≤3min

頻率(雙速):高速705HZ±10HZ

                        低速430HZ±5HZ

復(fù)合真空計(jì):

測量路數(shù):2路(電阻規(guī)、電離規(guī)各1路)

工作模式:手動/自動

電阻單元參數(shù)

規(guī)管型號:電阻規(guī)

測量范圍:1.0×105Pa~1.0×10-1Pa

有效范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

控制范圍:2.5×103Pa~5.0×10-1Pa

電離單元參數(shù)

規(guī)管型號:電離規(guī)

可測范圍:5.0Pa~1.0×10-5Pa

有效范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

控制范圍:1.0Pa~5.0×10-5Pa

規(guī)管除氣方式:焦耳去氣

其他參數(shù)

控制路數(shù):4路

控制方式:點(diǎn)動或區(qū)域控制/帶掉電記憶

控制精度:±1%

采樣時間:1s

電源:220V±10% 50HZ

功耗:50W

使用環(huán)境溫度:0℃~45℃

濕度:≤85%

連接管路:采用全不銹鋼,電拋光制作,零件焊接漏率優(yōu)于1.0×10-9Pa.m3/s

備注:

根據(jù)工藝要求可選配低真空或高真空系統(tǒng)

 

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