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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

PICOSUN™ P-300 系統(tǒng)擁有的熱壁、獨立的前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計，確?？梢陨a(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低顆粒水平和的電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì)量 ALD 薄膜。高效緊湊的設(shè)計使得維護(hù)更加方便、快捷，大限度減少系統(tǒng)的維護(hù)停工期和使用成本。擁有技術(shù)的 Picoflow™ 使得在超高深寬比結(jié)構(gòu)上沉積保形性薄膜更高效，并已在生產(chǎn)線上得到驗證。

P-300B 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

襯底尺寸和類型

● 200mm 晶圓 25片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）

● 150mm 晶圓 50片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）

● 100mm 晶圓 75片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）

● 非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底（使用定制夾具）

● 高深寬比基底（深寬比 1 : 2500）

工藝溫度

● 50°C – 500°C

標(biāo)準(zhǔn)工藝

● 批量生產(chǎn)的平均工藝時間小于 10 秒/循環(huán)*

● Al₂O₃，SiO₂，Ta₂O₅，HfO₂，ZnO，TiO₂，ZrO₂，AlN，TiN 及各種金屬

● 同一批次薄膜不均勻性 < 1% 1σ，(Al₂O₃，WIW，WTW，B2B，49pts，5mm EE)**

基片加載

● 氣動升降

● 手動裝載

● 線性半自動裝載

前驅(qū)體

● 液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源

● 源瓶余量傳感器，提供清洗和裝源服務(wù)

● 4 根獨立的源管線，最多加載 8 個前驅(qū)體源

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
熱墊式治療溫度測試裝置操作簡單	￥786000	菏澤市	山東賽銳特檢測儀器有限公司	2026-04-18	在線詢價
TONY扭力測試儀型號:TONY-HP-10	￥3600	北京市	北京海富達(dá)科技有限公司	2025-09-01	在線詢價
PlasmaPro 1000	面議	上海	牛津儀器科技（上海）有限公司	2023-07-19	在線詢價
鈉離子濃度計型號：KG/DYI-A	面議	北京市	北京中慧天誠科技有限公司	2017-05-09	在線詢價

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