產(chǎn)品簡介
真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列SteeVac系列可提供200A蒸鍍電流，蒸發(fā)溫度可600°C，能夠滿足大部分有機材料的蒸鍍，也可按客戶需求定制更高蒸鍍溫度；真空腔室采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料，采用方形結(jié)構(gòu)，內(nèi)部空間充足；可設(shè)置16組不同的蒸發(fā)材料，滿足各種復(fù)雜的蒸鍍條件；搭配分子泵可達(dá)優(yōu)于5*10-4Pa的真空度，適應(yīng)絕大部分蒸發(fā)材料所需真空環(huán)境；配備全自動抽真空系統(tǒng)；可以實現(xiàn)軟件點擊開啟抽真空，全自動根據(jù)真空度檢測機械泵、分子泵、閘板閥、電磁閥的智能開啟，實現(xiàn)鼠標(biāo)一鍵式抽真空。
真空鍍膜儀不銹鋼腔體系列配備手套箱防抽爆自動檢測系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點
□ 自動切換掩膜系統(tǒng)；
□ 自動開關(guān)腔體，自動抽真空、退真空系統(tǒng)；
□ 自動鍍膜工藝；
□ *的錯誤檢測系統(tǒng)
□ 優(yōu)異的鍍膜均勻性；
□ 提供定制化服務(wù)。
產(chǎn)品應(yīng)用
□ 有機分子薄膜制備；
□ 半導(dǎo)體薄膜制備；
□ 光學(xué)薄膜制備；
□ 金屬電極制備；
□ 典型樣品：OLED、鈣鈦礦、薄膜電池、薄膜晶體管等。
功能參數(shù)
□ 蒸發(fā)源數(shù)量：2~16組可選；
□ 蒸發(fā)電流：0~200A連續(xù)可調(diào)；
□ 蒸發(fā)電源模組：1~10組可選，功率600W,1200W,1500W可選；
□ 極限真空：優(yōu)于4*10-5Pa；
□ 樣品與蒸發(fā)源距離：固定或0~70mm可調(diào)；
□ 鎢舟擋板：按蒸發(fā)源標(biāo)配，2~16組；
□ 氣壓保護(hù)：進(jìn)口壓力開關(guān)，正負(fù)壓可設(shè)置，有效保護(hù)真空環(huán)境；
□ 抽氣速率：常壓至5*10-2Pa≤10min；
□ 掩膜庫：4位/6位/8位可選；
□ 真空保持：停止真空系統(tǒng)后12小時≤2 Pa；
□ 門板控制：手動、手動自動集成可選。
規(guī)格型號
參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
鍍膜方式 | 多源熱蒸發(fā)鍍膜 | 多源熱蒸發(fā)鍍膜 | 熱蒸發(fā)鍍膜 |
腔體結(jié)構(gòu) | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 | 方形，前后開門，可配合手套箱安裝 |
材質(zhì)用料 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 | 優(yōu)質(zhì)真空不銹鋼 |
真空腔室尺寸 | L260*W262*H351 | L360*W363*H486 | L460*W464*H635 |
電極分布 | 扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 | 扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 | 扇形分布，相互間擋板隔離，避免交叉污染 |
低溫源（有機/氧化物等）數(shù)量 | 最多6個蒸發(fā)源 | 最多9個蒸發(fā)源 | 最多13個蒸發(fā)源 |
低溫源溫度范圍 | 室溫~600°C | 室溫~600°C | 室溫~600°C |
低溫源切換 | PC控制/手動 | PC控制/手動 | PC控制/手動 |
高溫源（金屬）數(shù)量 | 1~3可選 | 1~4可選 | 1~6可選 |
基片臺（樣品架）方案一 | φ161mm，圓形 | φ224mm，圓形 | φ287mm，圓形 |
基片臺（樣品架）方案二 | 80*80mm,方形 | 110*110mm，方形 | 150*150mm，方形 |
基片臺（樣品架）加熱 | 常溫/加熱，加熱可選配室溫~400℃或室溫~200℃溫控范圍 | ||
基片臺（樣品架）高度 | 樣品架與源表面距離：≤330mm；裝片方式：側(cè)插方式 | ||
樣品托及掩模版 | 70×70mm，可放置65×65mm樣品 | 100×100mm，可放置90×90mm樣品 | 134×134mm樣品或放16片25×25mm樣品 |
參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
基片臺擋板 | 程控，氣缸+磁流體驅(qū)動，傳動穩(wěn)定，密封可靠 | 程控，氣缸+磁流體驅(qū)動，傳動穩(wěn)定，密封可靠 | 程控，氣缸+磁流體驅(qū)動，傳動穩(wěn)定，密封可靠 |
基片臺升降 | 固定間距或0~30mm可調(diào) | 固定間距或0~50mm可調(diào) | 固定間距或0~70mm可調(diào) |
基片尺寸 | ≤30×30mm | ≤30×30mm | ≤30×30mm |
膜厚不均勻性 | ≤5% | ≤5% | ≤5% |
備用接口 | 4 | 6 | 6 |
門板控制 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 | 手動/自動/手自一體 |
系統(tǒng)控制 | PC軟件；速率自動控制，功率控制，溫度控制。 | PC軟件；速率自動控制，功率控制，溫度控制。 | PC軟件；速率自動控制，功率控制，溫度控制。 |
蒸鍍過程控制 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 | 各操作環(huán)節(jié)，掩膜板更換、樣品架旋轉(zhuǎn)及定位、電源功率調(diào)節(jié)等均可在軟件界面完成 |
總功率 | ≥5KW | ≥8KW | ≥10KW |
抽氣速率 | 5.0×10-2Pa≤5min | 5.0×10-2Pa≤8min | 5×10-2Pa≤10min |
極限真空 | 優(yōu)于4.0×10-5Pa | 優(yōu)于4.0×10-5Pa | 優(yōu)于4.0×10-5Pa |
漏率 | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S | ≤6.5×10-8Pa·L/S |
工作真空 | ≥5×10-4Pa，從大氣到工作真空時間≤30min | ||
系統(tǒng)保壓 | 系統(tǒng)抽到極限后，停泵關(guān)機12小時后，系統(tǒng)真空度保持≤2Pa | ||
參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
分子泵類別 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 | 油/脂潤滑、磁懸浮可選 |
冷卻系統(tǒng) | 搭配循環(huán)水冷卻 | 搭配循環(huán)水冷卻 | 搭配循環(huán)水冷卻 |
循環(huán)水參數(shù) | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% | ≤4LMP，溫度范圍-5°C~45°C，溫控精度0.1% |
掩膜庫一 | 4位 | 4位 | 4位 |
掩膜庫二 | 6位 | 6位 | 6位 |
掩膜庫 | 8位 | 8位 | 8位 |
真空系統(tǒng) | 分子泵+機械泵，PC軟件控制 | 分子泵+機械泵，PC軟件控制 | 分子泵+機械泵，PC軟件控制 |
蒸發(fā)電源 | 控制方式：恒流模式； 數(shù)量：按客戶要求； 功率：600W,1200W，1500W可選； 精度：程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式：恒流模式； 數(shù)量：按客戶要求； 功率：600W,1200W，1500W可選； 精度：程控精度為量程的0.01%。 | 控制方式：恒流模式； 數(shù)量：按客戶要求； 功率：600W,1200W，1500W可選； 精度：程控精度為量程的0.01%。 |
典型：金屬源×4套，有機源×4套，內(nèi)門，外門下方各放兩只有機源，左右各放兩只金屬源；有機源可開艙調(diào)整角度，帶有標(biāo)尺，范圍豎直到指向樣品中心。 | |||
真空保持 | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa | 12小時≤2Pa |
系統(tǒng)保護(hù) | 氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時報警 | 氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時報警 | 氣壓、高壓保護(hù)，控制系統(tǒng)全程即時報警 |
參數(shù)/規(guī)格 | SteeVac 260 | SteeVac 360 | SteeVac 460 |
氣路控制 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 | 超高真空氣動電磁閥 |
電氣柜 | 與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間 | 與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間 | 與系統(tǒng)一體式集成化，節(jié)省空間 |
腔室測溫 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 | 可選高精度PT100測溫，軟件實時顯示溫度值 |
膜厚儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測控制儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測控制儀 | 腔室內(nèi)可安裝1~8個探頭標(biāo)配優(yōu)質(zhì)石英晶振膜厚控制儀；可選國產(chǎn)或進(jìn)口監(jiān)測控制儀 |
真空計顯示范圍 | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa | 1.0×105Pa~1.0×10-5Pa |
機架 | 進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡潔大方 | 進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡潔大方 | 進(jìn)口鋁型材組裝，整體簡潔大方 |
顯示屏 | 搭配工業(yè)級屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業(yè)級屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 | 搭配工業(yè)級屏幕支架，可任意角度旋轉(zhuǎn)及隨意升降，滿足不同用戶的舒適要求 |
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