| 測定范圍 | Z:800μm X:120mm |
| 取樣數(shù)/分解能 | 32,000點(diǎn)/16bit |
| 真直度精度 | 0.2μm/120mm |
| 測定倍率 | 縱:50~500,000 橫:1~5,000 |
| 測量速度 | 0.05~5mm/s |
| 上下移動(dòng)范圍 | 320mm |
































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