| 表面粗糙度 | |
| 測定范圍/分解能 | Z:800μm/0.08nm |
| 測量速度 | 0.05~2mm/s |
| 測針 | R2μm 0.75mN以下 |
| 輪廓形狀 | |
| 測定精度 | Z:±(2.5+0.5×l H l)μm以下 H:変位(mm) |
| 測定范圍 | Z:30mm X:55mm |
| 測針 | R25μm 10~30mN |
































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