產(chǎn)品功能

● 閉合工藝室由 PETP 材質(zhì)做成（碗和防濺環(huán)）

● RCCT 系統(tǒng)（旋轉(zhuǎn)閉合腔體技術(shù) Round-Closed-Chamber-Technology）

● 高動(dòng)態(tài)、直接驅(qū)動(dòng)交流伺服電機(jī)

● 旋轉(zhuǎn)速度 6000 rpm +/-1 rpm（可選 10000）

● 可編程電驅(qū)動(dòng)分配手臂，可靜態(tài)或動(dòng)態(tài)滴膠

● 襯底通過(guò)真空固定和安全互鎖保護(hù)

● 一個(gè)滴膠臂，可放置 4 路液體管路

● 液體由玻璃瓶和精密計(jì)量泵來(lái)供應(yīng)，包括低液體傳感報(bào)警

● PP材質(zhì)的廢液桶，帶有高液位傳感器

產(chǎn)品功能

● 數(shù)字溫度控制及實(shí)時(shí)溫度顯示

● 重復(fù)工藝的快速啟動(dòng)

● 自動(dòng)溫度限幅開(kāi)關(guān)，避免過(guò)熱

● 加熱工藝可編程多段式，每個(gè)工藝可設(shè)置 20 段

● 電動(dòng)升降式載片頂針

● 配備安全玻璃，也方便清潔

● 熱板極速調(diào)平，避免光刻膠流動(dòng)

● 用戶操作的工藝參數(shù)配置界面及觸摸屏

● 基片通過(guò)真空吸附固定

● 手動(dòng)上下片

性能參數(shù)

● 均勻加熱區(qū)域：200mm × 200mm

● 溫度范圍：室溫到 250℃

● 溫度均勻性：100℃ 時(shí)溫差范圍 +/-0.6℃

● 電動(dòng)驅(qū)動(dòng)頂針的升降