2L腔體等離子清洗機(jī),石英腔體潔凈度高,前面留有直徑50mm觀察窗,觸摸屏控制人機(jī)界面。
等離子體清洗的機(jī)理,主要是依靠等離子體中活性粒子的"活化作用"達(dá)到去除物體表面污漬的目的。等離子體清洗通常包括以下過程:無機(jī)氣體被激發(fā)為等離子態(tài);氣相物質(zhì)被吸附在固體表面;被吸附基團(tuán)與固體表面分子反應(yīng)生成產(chǎn)物分子;產(chǎn)物分子解析形成氣相;反應(yīng)殘余物脫離表面。
1、可以更靈活地操作,簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會(huì)對(duì)人員的身體造成任何傷害。
3、其成本對(duì)于等離子處理方法來說是微不足道的。
2L腔體等離子清洗機(jī)KT-S2DQX
供電電源 | AC220V(AC110V可選) |
工作電流 | 整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 | 150W |
射頻頻率 | 13.56MHz |
頻率偏移量 | <0.2MHz |
特性阻抗 | 50歐姆,手動(dòng)匹配 |
耦合方式 | 電容耦合 |
真空度 | ≤100Pa |
腔體材質(zhì) | 高純石英 |
腔體容積 | 2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM) |
觀察窗內(nèi)徑 | Φ65 |
氣體流量 | 10—100ml/min(其他量程可選) |
過程控制 | 過程手動(dòng)控制 |
清洗時(shí)間 | 手動(dòng)開關(guān) |
開蓋方式 | 鉸鏈側(cè)開式法蘭 |
外形尺寸 | 400x380x360mm |
重量 | 23Kg |
真空室溫度 | 小于65°C |
冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 | KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。
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