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LINT-208G自動型WAFER平坦度測試儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2024-11-20
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量9
  • 人氣值415
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北京三禾泰達(dá)技術(shù)有限公司成立于2003年1月21日2018~2020年間共取得11項產(chǎn)品軟件著作權(quán)2018年激光干涉測平儀項目獲得北京市朝陽區(qū)頒發(fā)的研發(fā)能力提升獎勵2020年被認(rèn)定為企業(yè)。2021年被認(rèn)定為中關(guān)村企業(yè)2021年2月有10項實用新型申請被國家局受理。十幾年來公司通過在測量領(lǐng)域的深耕和拓展,為市場提供了數(shù)款性價比的測量儀器,其中7種儀器。公司產(chǎn)品主要面向五個大的市場方向: 半導(dǎo)體WAFER平面度/厚度檢測、光學(xué)玻璃幾何參數(shù)特征檢測、利用近紅外光進(jìn)行砷化鎵/硅晶體缺陷檢測、壓電水晶諧振器電學(xué)參數(shù)檢測以及激光傳感器應(yīng)用研究,我們的產(chǎn)品包括:LINT-208G型WAFER平坦度半自動測試儀,該儀器目前;LINT-208G型WAFER平坦度/厚度全自動測試系統(tǒng),該儀器目前;LST-208H型共聚焦法平面度測試儀,該系統(tǒng)處于國內(nèi)水平;ALC-2120型在線自動研磨頻率控制儀,該儀器當(dāng)年;ALC-SI型硅在線自動研磨厚度控制儀,該儀器當(dāng)年;TCS-A型電渦流在線研磨厚度控制儀,該儀器目前;ABS-2000型壓電水晶BLANK頻率分選機TMI-A型激光厚度測量儀,該儀器目前;WMS-208AT型WAFER 激光全自動厚度分選機,該儀器市場反應(yīng)良好;我們的宗旨是通過向世界提供高技術(shù)高精度的測量儀器和高水平的服務(wù)提升中國在檢測及激光傳感器領(lǐng)域的總體水平。我們的目標(biāo)是在激光測量領(lǐng)域做到世界。
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LINT-208G自動型WAFER平坦度測試儀
LINT-208G自動型WAFER平坦度測試儀 產(chǎn)品詳情
LINT-208G自動型WAFER平坦度測試儀
LINT-208G自動型WAFER平坦度測試儀

測量原理

激光干涉法適用范圍

可用于測量工件尺寸為 Φ2---Φ8(INCH)直徑的圓型晶片

測量精度及量程

1、關(guān)于厚度

厚度量程:100---2000um,測量精度與 WAFER 表面光潔度有關(guān),即: 測量重復(fù)精度(砷化鎵等二代半導(dǎo)體類雙拋表面 WAFER):±0.3um ; 測量重復(fù)精度(碳化硅等三代半導(dǎo)體類研磨表面 WAFER): ±0.5um ; 測量重復(fù)精度(藍(lán)寶石類單拋表面 WAFER):±0.5um ;

2、關(guān)于平面度/表面形態(tài)參數(shù)測量精度


測量精度:±0.06μm 重復(fù)性精度:±0.03μm 分辨率:±0.005μm

像素點數(shù):≥250000 3、分選速度

為了保證不造成對 WAFER 表面造成損傷,研究人員建議的安全分選速度為: 100 片/小時左右。
熱門產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱參考價地區(qū)公司名稱更新時間 
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