做先進(jìn)陶瓷、汽車電子、精密五金生產(chǎn)的企業(yè)都清楚，產(chǎn)線一旦出現(xiàn)部件斷裂、良率突發(fā)下滑，每多停一小時都是實(shí)打?qū)嵉某杀緭p失。傳統(tǒng)模式下樣品送外檢、等電鏡室排隊(duì)，少則大半天多則兩三天，生產(chǎn)節(jié)奏全被打亂，還容易因盲調(diào)工藝造成批量不良。

中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲掃描電鏡，專為車間現(xiàn)場級檢測打造，直接部署在產(chǎn)線旁、品質(zhì)部實(shí)驗(yàn)臺即可使用，無需專屬電鏡室。遇到斷裂異常時，樣品無需復(fù)雜制樣，5分鐘即可獲取清晰微觀形貌圖，半小時內(nèi)就能通過斷口形貌定性根因：沿晶斷裂可快速定位燒結(jié)工藝或材料批次問題，穿晶斷裂可追溯模具或裝配應(yīng)力問題，氣孔形貌可區(qū)分粉體成型與排膠缺陷，當(dāng)場明確責(zé)任方向，快速推動產(chǎn)線復(fù)線，大幅降低停機(jī)損失。

核心技術(shù)參數(shù)一覽

1. 成像與分析能力

·電子槍：鎢燈絲，SE模式優(yōu)于4nm分辨率、BSE模式優(yōu)于8nm分辨率（@20kV）；

·加速電壓：1~20kV，支持1kV超低電壓低損成像，適配電子束敏感樣品；

·放大倍數(shù)：40~300,000×，可選配大圖拼接，覆蓋低倍大視野到高倍納米級觀測；

·探測器：標(biāo)配二次電子探頭+四象限高分辨背散射探頭，選配能譜儀（布魯克/牛津），實(shí)現(xiàn)形貌+元素成分雙重分析。

2. 高效真空系統(tǒng)

·真空度：高真空優(yōu)于9×10?3Pa，低真空5~100Pa（選配），適配導(dǎo)電/不導(dǎo)電樣品；

·抽氣效率：高真空<180s、低真空<120s，換樣倉破真空<30s，大幅減少等待時間。

3. 樣品臺與承載能力

·樣品臺：X/Y/T自動軸+R/Z手動軸，X/Y行程各50mm，支持-22.5°~+22.5°傾斜；

·最大樣品尺寸：70mm×70mm（水平）/45mm（高度），容納大尺寸/批量樣品。

4. 操作與耐用性

·自動化功能：自動合軸、聚焦、消像散、一鍵圖像增強(qiáng)，集成式操縱手柄快速調(diào)節(jié)；

·物理參數(shù)：400×670×730mm桌面級尺寸，120kg凈重，復(fù)合抗振防磁設(shè)計，適應(yīng)常規(guī)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。

如需獲取完整技術(shù)參數(shù)手冊或定制化配置建議，可聯(lián)系我們領(lǐng)取。

中圖儀器CEM3000系列鎢燈絲掃描電鏡適用于結(jié)構(gòu)陶瓷、半導(dǎo)體封裝、新能源汽車部件等多行業(yè)的產(chǎn)線突發(fā)異常排查，把微觀檢測能力直接下沉到生產(chǎn)一線。

注：產(chǎn)品參數(shù)與服務(wù)可能根據(jù)技術(shù)升級實(shí)時更新，具體以新標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。