1. 針對不同需求,對產(chǎn)品充氣:選用氣氛:氫氣、氮?dú)?、氦氣或其他惰性氣體;
2. 充氣壓力:< 0.4MPa,有壓力計(jì)儀表顯示;
3. 鉗斷:使產(chǎn)品與設(shè)備分離。
4. 排除通往產(chǎn)品管路的殘留氣體,進(jìn)行下一批產(chǎn)品排氣。
5. 工位數(shù):5 個,可單獨(dú)或任意多個工位組合工作,每把套密封夾具配一個獨(dú)立的電磁截止閥,可獨(dú)立控制每個工位密封夾具;
6. 排氣接口:排氣管直徑φ 4×50,需快速的接駁在排氣工作臺接口之上.。
7. 真空度:主系統(tǒng)極限真空度達(dá)到 5×10-6 Pa;
8. 真空系統(tǒng)為無油系統(tǒng),采用磁懸浮分子泵、干式機(jī)械泵,真空泵采用進(jìn)口品牌;
9. 所有涉及真空部件都嚴(yán)格遵守超高真空制造工藝,每條管道、每個閥門都經(jīng)嚴(yán)格的檢漏及清洗除氣,保證無污染,漏率低于 1x10-9 Pa.m3/s。
10. 充氣系統(tǒng):由充氣主閥、壓力表等組成,充氣系統(tǒng)管道按超高真空工藝制造




































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