一英寸高精度真空探針臺：主要應用于傳感器，半導體，光電，集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
   該探針臺的承載臺為26X26mm不銹鋼臺面，臺面可升溫到-190~400℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm,y方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0-13mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測

一英寸高精度真空探針臺主要技術要求

1． 類型：高低溫型：-190~400℃  

2． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼

3． 腔體內(nèi)尺寸：φ90x40mm

4． 腔體上視窗尺寸：Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）

5． 腔體抽氣口：KF16

6． 腔體進氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

7． 腔體出氣口：公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

8． 腔體正壓：≤0.05MPa

9． 腔體真空度：機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

10． 樣品臺材質(zhì)：304不銹鋼

11． 樣品臺尺寸：26X26mm

12． 樣品臺-視窗 距離：30mm（可選凹視窗間距15mm）

13． 樣品臺測溫傳感器：PT100鉑電阻

14． 樣品臺溫度：室溫到-190~350℃（可選高溫樣品臺 高溫400℃）

15． 樣品臺測溫誤差：±0.2℃

16． 樣品臺變溫速率：高溫10℃/min    低溫5℃/min 

17． 溫度顯示：7寸人機界面

18． 溫控類型：標準PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）

19． 溫度分辨率：0.1℃

20． 溫控精度：±0.5℃

21． 溫度信號輸入類型：PT100熱電阻 （可選 K  S  B型熱電偶）

22． 溫控輸出：直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）

23． 輔助功能：溫度數(shù)據(jù)采集并導出  實時溫度曲線+歷史溫度曲線

24． 電信號接頭：配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭   BNC三同軸接頭  SMA 接頭  香蕉插頭  線長1.2米

25． 電學性能：絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤200V  電流噪聲 ≤10pA

26． 探針數(shù)量：4探針（可定做6探針）

27． 探針材質(zhì)：鍍金鎢針

28． 探針尖：10μm

29． X軸移動行程：12mm    ±6mm

30． X軸控制精度：≤5μm

31． Y軸移動行程：12mm    ±6mm

32． Y軸控制精度：≤5μm

33． Z軸移動行程：12mm    ±6mm

34． Z軸控制精度：≤5μm

35． 顯微鏡類別：物鏡放大+電子放大

36． 顯微鏡放大倍數(shù)：100倍

37． 顯微鏡工作間距：50-150mm

38． 相機分辨率：1080P  60幀

39． 相機信號輸出：HDMI輸出+USB輸出

40． LED可調(diào)光源：LED光源

顯示屏：5寸 屏幕一體機