真空高低溫探針臺(tái)：

1． 產(chǎn)品名稱：真空探針臺(tái)

2． 產(chǎn)品型號(hào)：KT-Z1604T-RL

3． 產(chǎn)品品牌：鄭科探  Zhengketan

4． 生產(chǎn)廠家：鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

功能要求

KT-Z160T-RL該探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面，臺(tái)面可升溫到400℃。低溫-190°C。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng)，三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié)，其中X方向調(diào)節(jié)范圍：0－30mm；y方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；z方向調(diào)節(jié)范圍：0－20mm；用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上，再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后，即可進(jìn)行檢測(cè)。

真空高低溫探針臺(tái)：主要技術(shù)要求

1． 腔體材質(zhì)：304不銹鋼

2． 上蓋開啟：鉸鏈側(cè)開

3． 加熱臺(tái)材質(zhì)：304不銹鋼

4． 內(nèi)腔體尺寸：φ160x90mm

5． 觀察窗尺寸：Φ70mm

6． 加熱臺(tái)尺寸：φ55×55mm

7． 觀察窗熱臺(tái)間距：75mm

8． 加熱臺(tái)溫度： -190-400℃

9． 加熱臺(tái)溫控誤差： ±1℃

10． 真空度： 機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

11． 允許正壓： ≤0.1MPa

12． 真空抽氣口： KF25真空法蘭

13． 氣體進(jìn)氣口： 3mm-6mm卡套接頭

14． 電信號(hào)接頭： SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

15． 電學(xué)性能： 絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

16． 探針數(shù)量： 4探針

17． 探針材質(zhì)： 鍍金鎢針

18． 探針尖： 10μm

19． X軸移動(dòng)行程： 30mm    ±15mm

20． X軸控制精度：≤0.01mm

21． Y軸移動(dòng)行程：13mm    ±12.5mm

22． Y軸控制精度：≤0.01mm

23． Z軸移動(dòng)行程：13mm    ±12.5mm

24． Z軸控制精度：≤0.01mm

25． 顯微鏡類別：物鏡

26． 物鏡倍數(shù)：0.7-4.5倍

27． 工作間距：90mm

28． 相機(jī)：sony 高清

29． 像素：1920※1080像素

30． 圖像接口：VGA

31． LED可調(diào)光源：有

32． 顯示屏：8寸

33． 放大倍數(shù)：19-135倍,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm

四：主要配置

  1．1臺(tái) · 真空探針臺(tái)KT-Z1604T-RL

  2．1臺(tái) · 工業(yè)CCD

  3.  1臺(tái) · 真空泵-8

  4.  1個(gè) · PG800真空計(jì)

  5.  1臺(tái) · 液氮泵