企業(yè)概要

Company Profile

總部	堀場(chǎng)制作所 HORIBA, Ltd.
董事會(huì)成員	集團(tuán)會(huì)長(zhǎng)兼 CEO　堀場(chǎng) 厚
	副會(huì)長(zhǎng)兼集團(tuán) COO　齊藤壽一
	董事長(zhǎng)兼 COO　足立正之
創(chuàng)立	1945年 10月17日
成立	1953年 1月26日
總部	601-8510 京都市南區(qū)吉祥院宮之東町2番地
注冊(cè)資本	120.11 億日元 (截至2020年12月31日)
綜合凈銷售額	1870.8 億日元 (至2020年12月31日)　» 投資者相關(guān)頁面
員工數(shù)量	8,269 (截至2020年12月31日)
業(yè)務(wù)范圍	生產(chǎn)和銷售汽車排放測(cè)量系統(tǒng)、環(huán)境測(cè)量?jī)x器、種類齊全的科學(xué)分析儀、體外診斷分析儀和半導(dǎo)體行業(yè)使用的測(cè)量設(shè)備等。HORIBA還生產(chǎn)和銷售外圍測(cè)量與分析設(shè)備。此外，公司還可為實(shí)驗(yàn)室等機(jī)構(gòu)提供用于研發(fā)、生產(chǎn)和其他應(yīng)用的測(cè)量與分析設(shè)備
結(jié)算日	12月31日
上市	東京證券交易所第1部
日本分部	京都總部、滋賀、東京、宮城、櫪木、茨城、神奈川、靜岡、愛知、大阪、香川、廣島、福岡、熊本
海外分部	奧地利、巴西、加拿大、中國(guó)、法國(guó)、德國(guó)、印度、印度尼西亞、意大利、日本、韓國(guó)、波蘭、俄羅斯、新加坡、中國(guó)臺(tái)灣、泰國(guó)、英國(guó)、美國(guó)、越南

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在比利時(shí)、捷克、荷蘭、葡萄牙、俄羅斯、西班牙、瑞典和越南設(shè)立分公司
截至2020年12月31日

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2是通過激光散射方式對(duì)曝光工藝中光掩模上的細(xì)小顆粒進(jìn)行檢測(cè)的裝置?？蓹z測(cè)光掩模圖案面（Pattern Surface）上的zui小粒徑為0.35μm。并且通過線＆空間1.0?1.5μm的圖案識(shí)別功能，可以把檢測(cè)誤差抑制在zui低限度。

光掩模（Reticle/Mask）顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2-顆粒物監(jiān)測(cè)儀環(huán)境大氣顆粒物監(jiān)測(cè)儀產(chǎn)品詳情

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2是通過激光散射方式對(duì)曝光工藝中光掩模上的細(xì)小顆粒進(jìn)行檢測(cè)的裝置。可檢測(cè)光掩模圖案面(Pattern Surface)上的zui小粒徑為0.35μm。并且通過線＆空間1.0?1.5μm的圖案識(shí)別功能，可以把檢測(cè)誤差抑制在zui低限度。

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2特征

0.35μm的檢測(cè)靈敏度，90%的檢測(cè)率。
操作靈活的菜單便于使用。
zui多可直接從多級(jí)分類器內(nèi)的光掩模盒中裝載10片光掩模。
可直接觀察玻璃(Glass)面和圖案(Pattern)面。
便利的數(shù)據(jù)管理便于制做報(bào)告。
新信號(hào)處理方式有利于減少檢測(cè)錯(cuò)誤。
使用環(huán)境，圖案表面上的污染物的zui小可測(cè)粒徑為0.35μm。
通過光掩模寬度1.5μm、線間1.5μm的圖案判別功能，可以把檢測(cè)誤差抑制在zui小限度內(nèi)。

光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測(cè)系統(tǒng) PR-PD2應(yīng)用

在下列工藝中，可以用于細(xì)微異物的檢測(cè)中。

光掩模制造工藝
1)光掩模坯件上的異物檢測(cè)
2)EB中描畫?清洗后的圖案/玻璃面的異物檢測(cè)
3)表膜粘貼后的圖案/玻璃/表膜各面的異物檢測(cè)
4)粘貼前表膜單體的異物檢測(cè)(可選件功能)

曝光工藝
1)光掩模的接收檢査(入庫檢查)
2)曝光前的光掩模例行程序的異物檢測(cè)(工藝管理)
3)光掩模的定期異物檢測(cè)(工藝管理)

優(yōu)點(diǎn)

在圖案面，0.35μm的異物檢測(cè)靈敏度
高速過量地檢測(cè)圖案/玻璃/表膜各面
帶有上下面異物觀察功能(觀察倍率多級(jí)切換)
可應(yīng)用于各種縮小投影型曝光裝置盒(適用于多級(jí)曝光裝置盒：zui大可達(dá)到10級(jí))
各種各樣的檢査條件設(shè)定功能和簡(jiǎn)便的檢測(cè)操作
內(nèi)置數(shù)據(jù)管理功能，可以輸出各種各樣的報(bào)告。
支持GEM通信功能(顧客要求的功能　可選件)
高可靠性、低運(yùn)營(yíng)成本

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
智易時(shí)代揚(yáng)塵在線監(jiān)測(cè)一體機(jī)	面議	天津市	天津智易時(shí)代科技發(fā)展有限公司	2026-09-17	在線詢價(jià)
揚(yáng)塵檢測(cè)儀	￥16000	濰坊市	山東天合環(huán)境科技有限公司	2026-09-09	在線詢價(jià)
24小時(shí)在線揚(yáng)塵監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 大氣顆粒檢測(cè)	面議	深圳市	深圳市億杰儀表有限公司	2026-09-08	在線詢價(jià)
顆粒物揚(yáng)塵檢測(cè)儀	面議	濰坊市	山東雷穹電子科技有限公司	2026-08-14	在線詢價(jià)
ATAGO（愛拓）在線二甲亞砜DMSO濃度監(jiān)測(cè)儀	面議	武漢市	武漢市艾德寶儀器設(shè)備有限公司	2026-08-09	在線詢價(jià)
環(huán)境空氣顆粒物(PM10)自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)	面議	青島市	智測(cè)云聯(lián)(青島)智能科技有限公司	2026-04-03	在線詢價(jià)

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