技術(shù)數(shù)據(jù)
| 圓度偏差(µm+µm/mm 測(cè)量高度)* | 0,015 + 0,0003 |
| 圓度偏差(µm+µm/mm 測(cè)量高度)** | 0,03 + 0,0006 |
| 軸向跳動(dòng)偏差(µm+µm/mm 測(cè)量半徑)* | 0,02 + 0,0001 |
| 軸向跳動(dòng)偏差(µm+µm/mm 測(cè)量半徑)** | 0,04 + 0,0006 |
| 調(diào)心調(diào)平工作臺(tái) | 手動(dòng) |
| 工作臺(tái)直徑 (mm) | 160 |
| 工作臺(tái)負(fù)載,居中 (N) | 200 |
| 速度 (rpm) 50 Hz / 60 Hz | 0.2-15 |
| 測(cè)量路徑,機(jī)動(dòng) (mm),Z 軸 | 250 |
| 直線度偏差/100 mm 測(cè)量路徑 (µm)**,Z 軸 | 0.15 |
| 直線度偏差/總測(cè)量路徑 (µm)**,Z 軸 | 0.3 |
| 跟蹤方向的平行度偏差 Z-/C-軸 (µm) | 0.5 |
| 測(cè)量速度 (mm/s),Z 軸 | 0.5-30 |
| 定位速度 (mm/s),Z 軸 | 0,5-100 |
| 定位路徑 (mm),X 軸 | 150,機(jī)動(dòng) |
| 定位速度 (mm/s),X 軸 | 0,5-30 |



























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