真空腔體

• 真空腔材質(zhì)為無(wú)磁材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，如不銹鋼、鋁合金等，典型：鋁合金一體成型，直徑≥220mm，高度≥140mm，防輻射屏帶≥50mm藍(lán)寶石窗口，可定制不同體積腔體，通過(guò)O圈和CF法蘭密封；
  

• 高可見(jiàn)光透射觀察窗口設(shè)有兩層，外層為紅外絕熱窗片，隔絕環(huán)境光輻射；
  

• 探針臂：配置4個(gè)直流臂，外部預(yù)留三同軸接口，可進(jìn)行直流到50MHz的射頻測(cè)量，探針臂的漏電流要求小于100fA@1V@4.5K-350K，整體帶有不低于50歐姆的匹配阻抗；預(yù)留2個(gè)探針臂，支持后續(xù)甚至拓展；
  

• 降溫時(shí)間：120分鐘到5K；
  

• 下法蘭帶固定端，與光學(xué)平臺(tái)連接；
  

• 直徑為4英寸的紫銅材質(zhì)樣品臺(tái)；
  

• 真空度：室溫：優(yōu)于5×10-4mbar；基礎(chǔ)溫度：優(yōu)于5×10-5mbar；
  

• 氣孔：標(biāo)配一個(gè)KF25真空抽氣口，一個(gè)快速破真空進(jìn)氣口
  

探針臺(tái)座

• X-Y-Z-R四維調(diào)節(jié)：X方向移動(dòng)范圍≥50mm；Y方向移動(dòng)范圍≥25mm；Z方向移動(dòng)范圍≥25mm，R-±10°，X/Y/Z方向的加工精度≤±0.03 mm；讀數(shù)精度不小于10um，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°，移動(dòng)精度不小于10um，旋轉(zhuǎn)精度不小于0.01°，可以滿足全部4英寸范圍的扎針；
  

• 每個(gè)探針臂預(yù)留≥2個(gè)真空密封法蘭，支持升級(jí)拓展；
  

• 樣品臺(tái)三檔高度可調(diào)；
  

• 位移方向XYZ三軸,采用交叉滾柱導(dǎo)軌,產(chǎn)品定向性能穩(wěn)定；
  

• 配鈹銅、鎢等探針；
  

• 標(biāo)準(zhǔn)4英寸接地樣品臺(tái)，支持不同尺寸樣品臺(tái)
  

光學(xué)平臺(tái)

• 光學(xué)隔振平臺(tái)專門設(shè)計(jì)的水平減震機(jī)構(gòu)，隔振基礎(chǔ)采用二層氣囊隔離，空氣隔離器利用空氣阻尼技術(shù)在各個(gè)方向上都提供了優(yōu)異的減振性能，減振器自身的自然振動(dòng)頻率非常低，防止由瞬變干擾產(chǎn)生的搖擺；
  

• 穩(wěn)定輕松調(diào)節(jié)，穩(wěn)定可靠結(jié)構(gòu)十分緊湊；
  

• 平面度＜0.10mm/m2；
  

• 固有頻率垂直1.2Hz～1.8Hz,水平1.2Hz～1.8Hz；
  

• 振幅＜1.2μm；
  

• 重復(fù)定位精度±0.05mm。
  

顯微成像系統(tǒng)

• 顯微鏡帶有LED環(huán)形和同軸光源，配合CCD相機(jī)，可以將待測(cè)器件放大10-180倍，工作距離90-100mm；
  

• CCD相機(jī)分辨率不小于3μm，有拍照、錄像等功能，可以將照片、視頻通過(guò)數(shù)據(jù)線傳輸?shù)诫娔X端；
  

• X/Y方向移動(dòng)距離≥40mm，成像分辨率≤4微米，連續(xù)變倍比≥6.5:1
  

• 配高清成像CCD，采用USB連接電腦，2000萬(wàn)像素，HDMI數(shù)字傳輸接口，數(shù)據(jù)傳輸速率≥480MPS, 通過(guò)軟件調(diào)節(jié)亮度、對(duì)比度、銳度和伽馬值，可以拍照、錄像；
  

• 探測(cè)儀配件*：可探測(cè)波長(zhǎng)范圍3-6μm，收光范圍覆蓋φ2 mm，外部電源±12V，工作溫度覆蓋0-40℃，液氮制冷，內(nèi)置放大器，工作頻率覆蓋5-12000Hz。
  

• *注：支持定制多種探針臺(tái)結(jié)合的檢測(cè)探測(cè)耦合方案
  

真空系統(tǒng)

• 配置一：配備普發(fā)(Pfeiffer Vacuum，德國(guó))分子泵。前級(jí)泵為隔膜泵，抽速不低于1立方米/小時(shí)/氮?dú)?，分子泵機(jī)組抽速不低于67L/s @氮?dú)猓瑯O限真空小于1X10-7mbar；含全量程真空規(guī)和配套真空計(jì)等。
  

• 配置二：配風(fēng)冷復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動(dòng)到400Hz后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。分子泵：抽速600L/s；機(jī)械泵：抽速3L/s。含全量程真空規(guī)和配套真空計(jì)等。
  

• 常溫真空系統(tǒng)極限噪音電流≤100fA，配合半導(dǎo)體參數(shù)分析儀；
  

• 備注：支持其它定制化真空發(fā)生器配置。
  

溫控系統(tǒng)

• 高溫部件構(gòu)成及低溫部件構(gòu)成；
  

• 具有不少于8通道獨(dú)立輸入和兩通道分別為100W和50W的加熱輸出。樣品臺(tái)上帶有高精度高低溫溫度傳感器和100W高低溫高精度專用加熱器；
  

• 溫度范圍：4.5K～500K，分辨率不低于1K；
  

• 制冷形式：采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷，不需要消耗液氮或液氦（采用連續(xù)流降溫技術(shù)），降溫到基礎(chǔ)溫度時(shí)間≤45分鐘（典型：室溫到基礎(chǔ)溫度消耗液氮4-5L，80k控溫液氮≤1.5L/h）；
  

• ≥8KW一體風(fēng)冷循環(huán)冷卻水；
  

• 制冷源及維護(hù)時(shí)間：冷頭維護(hù)時(shí)間不少于10000個(gè)小時(shí)；壓縮機(jī)維護(hù)時(shí)間不少于30000個(gè)小時(shí)；
  

• 同軸制冷劑入口，具有二級(jí)熱交換平臺(tái)；
  

• 高精度液氮傳輸管線，流量傳輸管線采用真空密封波紋管，雙層套管結(jié)構(gòu)，可精細(xì)調(diào)節(jié)液氮流量；
  

• 搭配50L等液氮杜瓦罐，自增壓，匹配探針臺(tái)傳輸管線，包括壓力計(jì)，氣口，氣閥
  

充氣系統(tǒng)

• 3路質(zhì)量流量計(jì)，配置質(zhì)量流量計(jì)；
  

• 3路CF16手動(dòng)充氣針閥。
  

備品備件

• 密封套件；
  

• 鎢鋼、鈹銅等探針（含多種規(guī)格）；
  

• 探針臂陶瓷件；
  

• 同軸電纜等；
  

• 安全壓力閥（10psi）。