變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:

· 真空鎖壓力控制

· 一般真空壓力測(cè)量

· 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量

· 氣體回填測(cè)量和控制

· 質(zhì)譜儀控制

· 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī)

· 系統(tǒng)過(guò)程控制

· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>

· 控制系統(tǒng)壓力

技術(shù)數(shù)據(jù)

測(cè)量原理: 熱傳導(dǎo)性依據(jù) MEMS Pirani 傳感器而定

壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)

P/N: 230350V02、230351V02、230352V02、230353V02、230354V02、230355V02、230356V02:

測(cè)量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

11 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): 1×10-3 至 11 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

11 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

P/N: 230366V02、230702V02:

測(cè)量范圍 (N2 和空氣): 5×10-5 至 1500 毫巴

精確度 (1) (N2): MEMS Pirani: 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±5%

100 至 1000 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±25%

壓電值: 0.1 至 10 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±1% ±0.5 毫巴

10 至 1333 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.75%

1333 至 1500 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

重復(fù)性 (1) (N2): MEMS Pirani: 1x10-3 至 100 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±2%

壓電值: 10 至 1067 毫巴: 誤差是讀數(shù)的 ±0.2%

電源電壓: 9-30 伏直流

功耗: < 1.2 瓦

熔絲 (熱可恢復(fù)): 200 毫安

模擬輸出: 0.61-10.23 伏直流，Log 1.286 伏直流/十進(jìn)制

模擬輸出分辨率: 16 位

模擬輸出阻抗: 100 歐

模擬輸出更新率: 16 赫茲

傳感器故障，模擬輸出: 0 伏

機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230350V02、230351V02、230354V02、230355V02: 0

P/N: 230352V02、230353V02、230356V02: 2

P/N: 230366V02: 3

設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: 2×10-4 至 1300 毫巴

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: 1 安/ 30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) 設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: < 100 毫秒 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: 100 毫歐 (值) 設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)

設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器:

P/N: 230702V02: 2

響應(yīng)時(shí)間: < 20 毫秒

數(shù)字接口循環(huán)時(shí)間: 1 毫秒

暴露在真空中的材料 (2): 304 號(hào)不銹鋼，密封材料 FPM

內(nèi)部容積: KF16 法蘭 2.8 厘米3

NPT 1/8” 3.1 厘米3

外殼材質(zhì): 304 號(hào)不銹鋼

法蘭材質(zhì): 304 號(hào)不銹鋼

重量:

P/N: 230350V02、230352V02、230366V02: 168 克

P/N: 230351V02、230353V023: 183 克

P/N: 230354V02、230356V02: 292 克

P/N: 230355V02: 307 克

P/N: 230702V02: 338 克

允許壓力: 3 巴

運(yùn)行溫度: 0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉): 85 °C (185 °F)

燈絲溫度: 超過(guò)室溫 35 °C

濕度: 0 – 95% 非冷凝

異物防護(hù)等級(jí): IP40

泄漏速率: < 5?10-9 毫巴?升/秒

(1) 精確度和重復(fù)性是零位調(diào)整后在室溫氮?dú)夥障聹y(cè)得的典型數(shù)值。 (2) 如需暴露于處理氣體的所有材料的完整列表，請(qǐng)聯(lián)系 Leybold。