壓電傳感器中硅膜的機械偏轉(zhuǎn)

測量范圍 (N2 和空氣):

5×10-5 至 1500 毫巴

測量范圍差分:

-1013 至 1013 毫巴 (RS232)

精確度 (1) (N2):

MEMS Pirani:

5×10-4 至 1x10-3 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±10%

1×10-3 至 100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±5%

100 至 1000 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±25%

差分壓電:

-10 至 10 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±10% ±0.67 毫巴

-100 至 -10 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±8%

-1013 至 -100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±1%

10 至 100 毫巴

誤差是讀數(shù)的 ±5%

重復(fù)性 (1) (N2):

MEMS Pirani:

1x10-3 至 100 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±2%

差分壓電:

-1013 至 10 毫巴:

誤差是讀數(shù)的 ±1%

電源電壓:

9-30 伏直流

功耗:

< 1.2 瓦

熔絲 (熱可恢復(fù)):

200 毫安

模擬輸出:

0.61-10.23 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進制

模擬輸出分辨率:

16 位

模擬輸出阻抗:

100 歐

模擬輸出更新率:

16 赫茲

傳感器故障，模擬輸出:

0.5 伏

設(shè)定點繼電器:

P/N: 230365V02:

3

設(shè)定點繼電器范圍:

值:

2 ×10-4 至 1300 毫巴

差分值:

-1013 毫巴至 1333 毫巴

設(shè)定點繼電器觸點額定值:

1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載)

設(shè)定點繼電器響應(yīng)時間:

< 100 毫秒

設(shè)定點繼電器觸點電阻:

100 毫歐 (值)

設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載)

設(shè)定點繼電器觸點耐久性:

2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載)

材料暴露于真空 (2):

304 號不銹鋼、密封材料 FPM

內(nèi)部容積:

KF16 法蘭

2.8 厘米3

外殼材質(zhì):

304 號不銹鋼

法蘭材質(zhì):

304 號不銹鋼

重量:

305 克

允許壓力:

2 巴

運行溫度:

0 至 40 °C (32 至 104 °F)

烘烤溫度 (電源關(guān)閉):

85 °C (185 °F)

燈絲溫度:

超過室溫 35 °C

濕度:

0 – 95% 非冷凝

異物防護等級:

IP40

泄漏速率:

< 5.10-9 毫巴?升/秒

TTR 200 N，ATM，DN16 KF，RS232，3SP

230365V02

螺旋管 DN 16 ISO-KF

230082

擋板 DN 25 ISO-KF，含定心環(huán)

230078

定心環(huán) (1.4305 號不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF

88346

定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過濾器，DN16 KF

88351

卡環(huán) (鋁)，DN16 KF

18341

定心環(huán)，含細濾器 DN16 KF

88396