GLRT-600型高低溫探針臺根據制冷方式分為液氮制冷和GM制冷機兩種，溫度范圍從-260℃度到600℃C可控。產品兼容低至1pA的直流信號，50GHz的高頻信號以及1KV的高壓信號；
顯微鏡、探針、變溫模塊可自行切換，提供拓展的物性測量軟件，包含光電熱等測試功能；
廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域，可以做標準的IV、CV、微波和光電實驗。
GLRT-600型高低溫探針臺
產品簡介
GLRT-600型高低溫探針臺根據制冷方式分為液氮制冷和GM制冷機兩種，溫度范圍從-260℃度到600℃C可控。產品兼容低至1pA的直流信號，50GHz的高頻信號以及1KV的高壓信號；
顯微鏡、探針、變溫模塊可自行切換，提供拓展的物性測量軟件，包含光電熱等測試功能；
廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS、超導、電子學、物理學和材料學等領域，可以做標準的IV、CV、微波和光電實驗。
技術參數(shù)
型號 | GLRT-600 | GLRT-600A | GLRT-600B |
制冷方式 | 液氮 | GM制冷機 | |
溫度范圍 | -190°C到600°C | 6K到320K | |
顯示精度 | 0.1°C | 0.001K | |
控溫精度 | ±0.01°C | ±0.01K | |
Z大加熱速率 | 50°C/min | 20K/min | |
Z大冷卻速率 | -30°C/min | 10K/2h | |
樣品臺大小 | 30*30mm | ф40mm | |
正面觀察窗大小 | ф41mm單面(可訂制) | ||
外觀尺寸 | 450*450*72mm | 450*450*90mm | 450*450*1000mm |
腔體凈重 | 10kg | 90kg | |
探針類型 | 直流位移探針 | 高頻位移探針 | 參考TS600E-OE、HF |
調節(jié)方式 | 位移旋鈕調節(jié) | ||
探針材質 | 鎢鋼或鈹銅(探針針尖1um) | 50g高頻探針或直流探針 | |
探針數(shù)量 | 4個(可拓展為6個) | 4個 | |
顯微鏡模塊Microscope module
品牌：永新光學、舜宇、奧斯微
目鏡：高眼點廣角目鏡WF20X/10mm
物鏡：內置連續(xù)變倍物鏡0.7-4.5倍
觀察頭：雙目觀察頭，45度傾斜，瞳孔距調節(jié)范圍54-76mm，雙邊視度可調
放大倍率：連續(xù)變倍7-90X
照明光源：可調亮度LED光源
工作距離：100m
調節(jié)范圍：立桿高度380mm，升降范圍50mm
相機模塊Camera module
品牌：杭州圖譜、福州鑫圖
芯片型號：SonyIMX485(C)
像素大小：2.9mm*2.9mm
Z大分辨率：830萬像素
幀速：45fps@3840*2160 70fps@1920*1080
曝光時間：0.02ms-15s
白平衡：ROI白平衡/手動Temp-Tint調整
記錄方式：圖像和視頻
G光靈敏度：2188mv with 1/30s
暗電流：015mv with 1/30s
光譜響應范圍：380-650nm(有紅截止濾光片的情況下)
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