XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用——從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航天工業(yè)直至光學(xué)工業(yè)。這一測量機的測量精度達(dá)到技術(shù)極限,其測量范圍近1立方米，測量精度達(dá)到0.3μm。創(chuàng)新的驅(qū)動技術(shù)和碳化硅陶瓷材料的使用也確保了機器的動態(tài)性能。

創(chuàng)新的機械設(shè)計

 蔡司 XENOS新型的機械設(shè)計基于經(jīng)過驗證的 蔡司 center max.令人印象深刻。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機不同:Y導(dǎo)軌分布于側(cè)壁頂部,分離式移動行程軸僅橫梁于Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量一一與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。

所有軸均采用線性驅(qū)動

 XENOS的所有軸均采用線性驅(qū)動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高、驅(qū)動無剪切力影響結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù), XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于結(jié)合超高分辨率光柵尺技術(shù), XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低于100納米的定位精度。例如,測針偏移量越恒定,即可獲得更佳的測量精度,于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精確性。

 虛擬驅(qū)動

于測量曲面時更顯見另一優(yōu)勢:測針的移動路徑與預(yù)定值越吻合,即可實現(xiàn)越出色的精確性。虛擬驅(qū)動 XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益于蔡司全新的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。

碳化硅陶瓷
 XENOS于Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)得益于蔡司全新的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分布驅(qū)動力作為全新控制系統(tǒng)及算法之結(jié)合,這是在整個測量范圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。碳化硅陶瓷 XENOS在與精度密切相關(guān)的機器部件上采用創(chuàng)新的碳化硅陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用與常規(guī)陶瓷相比,碳化硅陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。

加強型 vast gold
 XENOS采用 蔡司 vast gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重復(fù)度方面對該探頭進行了優(yōu)化 XENOS也采用了新型剛性連接。VASTgold探頭可與長度為800毫米的測針以及重量500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。

改進的電子設(shè)計
通過全新的電子設(shè)計,移動線纜對精度影響顯著降低。計算機輔助精度修正(C-AA)法和特殊附加CAA修正技術(shù)在獲得高精度測量的過程中扮演著日趨重要的作用。

優(yōu)化的氣浮軸承
全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。

*備注：L=測量長度，以mm為單位

            根據(jù)設(shè)備規(guī)格、所配探頭及使用環(huán)境，精度有所不同