MFC300 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補(bǔ)償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)
超快響應(yīng):5ms 測(cè)量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無(wú)需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無(wú)腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測(cè)量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. (1:500)
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應(yīng)時(shí)間 5ms
控制響應(yīng)時(shí)間 300ms
預(yù)熱時(shí)間 ≤1s
閥門 常閉式








































田林县|
黄大仙区|
英山县|
纳雍县|
渝中区|
婺源县|
房山区|
山东省|
内江市|
隆子县|
二连浩特市|
冕宁县|
曲松县|
柯坪县|
合作市|
阿拉善右旗|
北宁市|
铅山县|
凉城县|
密云县|
富平县|
盐池县|
綦江县|
德安县|
富裕县|
会理县|
霍邱县|
运城市|
印江|
益阳市|
静安区|
乌鲁木齐市|
红原县|
镇远县|
湖北省|
灵寿县|
沙坪坝区|
舒城县|
营山县|
商河县|
乐业县|