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有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
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  • 所在地深圳市
  • 更新時(shí)間2025-07-10
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)深圳市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量75
  • 人氣值1649
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深圳市中圖儀器科技有限公司是*和軟件企業(yè),致力于精密計(jì)量、檢測(cè)儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售。中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),擁有一支以清華大學(xué)、西安交大等高校的碩士畢業(yè)生為骨干的技術(shù)隊(duì)伍,在專業(yè)技術(shù)上擁有近二十年的技術(shù)積累和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),潛心進(jìn)行計(jì)量檢測(cè)技術(shù)的創(chuàng)新研究。

中圖儀器擁有約3000平方米的現(xiàn)代化科研辦公樓層,配備了*的科研設(shè)施和精密加工設(shè)備,建立了幾何量恒溫實(shí)驗(yàn)室、傳感器老化實(shí)驗(yàn)室和傳感器溫控實(shí)驗(yàn)室,按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)管理,為客戶提供質(zhì)量*的產(chǎn)品。中圖儀器的銷(xiāo)售和服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及國(guó)內(nèi)三十多個(gè)省、市、自治區(qū),并與國(guó)內(nèi)許多企業(yè)、科研院所保持著*密切的合作關(guān)系。10多年來(lái),在精心研究長(zhǎng)度、熱工、水流量等專業(yè)計(jì)量檢測(cè)技術(shù)的基礎(chǔ)上,研發(fā)*的CCD圖像識(shí)別技術(shù),*設(shè)計(jì)制造SJ2000/3000系列指示表自動(dòng)檢定儀、SJ5200系列螺紋綜合測(cè)量機(jī)、SJ2200系列小角度檢定儀、SJ2300系列氣浮式垂直度檢定儀、SJ2400系列影像式線紋測(cè)量?jī)x、SJ200系列高度計(jì)、ZT5000/6000系列壓力自動(dòng)校驗(yàn)儀、ZT8000系列溫度自動(dòng)檢定系統(tǒng)、SW2000系列攝像式全自動(dòng)水表檢定裝置、ZT201系列全自動(dòng)在線檢測(cè)儀等*儀器設(shè)備,促進(jìn)了我國(guó)計(jì)量檢測(cè)裝備的技術(shù)進(jìn)步。目前,中圖儀器擁有數(shù)十種自主開(kāi)發(fā)的新技術(shù)產(chǎn)品,并具有多項(xiàng)技術(shù),廣泛應(yīng)用于政府計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)機(jī)構(gòu)、國(guó)防*、汽車(chē)、航空航天、冶金、機(jī)械、電力、石化等行業(yè)的實(shí)驗(yàn)室。中圖儀器的大多數(shù)產(chǎn)品達(dá)到水平,部分產(chǎn)品處于前列的位置,打破了檢定儀器一直以來(lái)被西方發(fā)達(dá)國(guó)家壟斷的局面。中圖儀器參與了一些制定產(chǎn)品檢定國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的工作,為國(guó)家做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)。

中圖儀器的使命,就是專注于精密計(jì)量?jī)x器和自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備的創(chuàng)新發(fā)展,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體,用現(xiàn)代化的技術(shù)手段大幅提高檢測(cè)效率,力圖中國(guó)儀器的技術(shù)進(jìn)步。

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有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng)
有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

  有圖晶圓關(guān)鍵尺寸及套刻量測(cè)系統(tǒng)是一款集成高精度平面尺寸檢測(cè)和亞納米級(jí)表面3D形貌測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器,同時(shí)滿足大范圍多區(qū)域的高精度全自動(dòng)檢測(cè),優(yōu)異的重復(fù)性及效率有效減少人為誤差及人員投入。
  它采用高分辨率光學(xué)鏡頭,結(jié)合高精度圖像分析算法,并融入一鍵閃測(cè)原理,CNC模式下,只需按下啟動(dòng)鍵,儀器即可根據(jù)工件的形狀自動(dòng)定位測(cè)量對(duì)象、匹配模板、測(cè)量評(píng)價(jià)、報(bào)表生成,真正實(shí)現(xiàn)一鍵式快速精準(zhǔn)測(cè)量。
  同時(shí)具備白光干涉掃描系統(tǒng),3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,能夠?qū)π酒琙向?qū)崿F(xiàn)微納尺度的3D掃描和重建,精確測(cè)量表面的高度輪廓尺寸;全自動(dòng)上下料平臺(tái),配置掃描槍,高效實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線全自動(dòng)化生產(chǎn)。
全自動(dòng)晶圓檢測(cè)機(jī)可廣泛應(yīng)用于芯片、半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、MEMS器件等超精密加工行業(yè)。
 

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

自動(dòng)上下料&生產(chǎn):

1、配置自動(dòng)上下料平臺(tái);
2、配置高精度上下料方式,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)線高自動(dòng)化程度;
 

針對(duì)產(chǎn)線開(kāi)發(fā),方便管理:

1、可設(shè)定三種權(quán)限模式:Operater、Engineer、Administrator便于管理操作;
2、可與客戶生產(chǎn)數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)連接,便于數(shù)據(jù)的管理分析;
3、測(cè)量現(xiàn)場(chǎng)立即評(píng)價(jià)測(cè)量尺寸偏差,一鍵生成統(tǒng)計(jì)分析、檢測(cè)結(jié)果報(bào)告等;
 

功能豐富,自動(dòng)報(bào)表:

1、軟件分為兩大部分,其中平面輪廓尺寸的影像測(cè)量方式分為測(cè)量設(shè)定、單件測(cè)量、CNC測(cè)量、自動(dòng)測(cè)量、統(tǒng)計(jì)分析五大功能模塊,而3D輪廓尺寸的白光干涉成像方式分為測(cè)量設(shè)定、數(shù)據(jù)處理和分析工具等三個(gè)步驟,其中可預(yù)配置數(shù)據(jù)處理和分析工具,實(shí)現(xiàn)一鍵測(cè)量與分析。
2、平面輪廓尺寸影像測(cè)量模塊提供多達(dá)80種提取分析工具、包括【特征提取】工具(如最值點(diǎn)、中心線圓弧、峰值圓等),【輔助工具】(如任意點(diǎn)線圓、擬合直線、擬合圓、切線、內(nèi)切圓等),【智能標(biāo)注】工具,【形位公差】工具,特殊【應(yīng)用工具】(如倒角、圓角、節(jié)距距離、節(jié)距角度、圓徑十字、槽孔、螺紋、彈簧、密封圈等);而3D測(cè)量模塊提供粗糙度、臺(tái)階高、距離測(cè)量、孔洞體積等2D/3D分析工具。
3、自動(dòng)輸出SPC分析報(bào)告,可輸出統(tǒng)計(jì)值(如CA、PPK、CPK、PP等)及控制圖(如均值與極差圖、均值與標(biāo)準(zhǔn)差圖、中位數(shù)與極差圖、單值與移動(dòng)極差圖)。
 

三、應(yīng)用場(chǎng)景

有圖晶圓套刻偏移量測(cè)量

在晶圓制造時(shí),黃光站將Wafer光刻、曝光顯影后會(huì)進(jìn)行套刻的偏移量測(cè)量,將測(cè)量的數(shù)據(jù)反向?qū)胙a(bǔ)償至光刻機(jī)內(nèi),優(yōu)化晶圓光刻工藝穩(wěn)定性以達(dá)到客戶對(duì)產(chǎn)品的需求。
 

有圖晶圓關(guān)鍵尺寸測(cè)量

在Wafer制造時(shí),多道工序會(huì)對(duì)Die的關(guān)鍵外形尺寸進(jìn)行把控,SuperView軟件自動(dòng)捕捉Die特征邊緣,同時(shí)進(jìn)行高效精準(zhǔn)測(cè)量,幫助客戶在更短的時(shí)間內(nèi),達(dá)到更高的良率,維持良率的穩(wěn)定性。
 

有圖晶圓3D尺寸測(cè)量

Wafer制造時(shí),前道黃光工序后需要測(cè)量芯粒下底槽間的寬度來(lái)確定各芯粒間的偏移量是否合格,自動(dòng)選取多條拋線得到穩(wěn)定平均值,從而調(diào)整曝光機(jī)參數(shù)以達(dá)到工藝要求。
 

有圖晶圓輪廓分析及蝕刻深度測(cè)量

重建晶圓的局部3D圖像,根據(jù)提供的線寬尺寸和刻蝕深度,提取刻線的剖面輪廓進(jìn)行分析,可判斷線槽輪廓的完整性和進(jìn)行底部缺陷的觀察。
 

有圖晶圓切割后槽深槽寬測(cè)量

在劃片工藝的鐳射工序后,進(jìn)行鐳射U型槽的槽深度和寬度檢測(cè),可自定義剖面寬度取剖面輪廓的均值曲線,求取槽深寬的平均值,根據(jù)測(cè)出的槽深和槽寬,調(diào)整鐳射機(jī)的參數(shù)以便符合工藝要求

 

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