| 配氣設(shè)備 | ||
型號(hào) | 類型 | 氣路數(shù)(個(gè)) |
GDT | 臺(tái)式 | 2~4 |
GBF | 落地式 | 2以上 |
| 項(xiàng)目/型號(hào) | GDT-MFC-4 |
| 適配電源 | 220V 50HZ |
| 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程 | 100sccm/200sccm/200sccm/500sccm(非特殊定以氮?dú)鈽?biāo)定,量程可選) |
| 工作溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
| 可達(dá)壓力 | 3MPa |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5% FS |
| 測(cè)量范圍 | -0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) |
| 針閥 | 316不銹鋼 |
| 截止閥 | 316不銹鋼針閥 |
| 尺寸 | 260*450*450 mm |
GD系列配氣設(shè)備選型表 | |||
| 類型 | 參數(shù) | 選型代碼 | 備注 |
流量計(jì)
| 玻璃轉(zhuǎn)子型 | GRF | |
質(zhì)量流量型 | MFC | ||
| 2 | 2 | ||
| 3 | 3 | ||
| 氣路數(shù) | 4 | 4 | |
| 定制 | -- | ||

























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