- 光潔真空腔室:采用直徑210mm石英腔室,易清潔和放入樣品;
- 旋轉(zhuǎn)樣品臺:可獲得更均勻的薄膜樣品;
- 鎢絲加熱:采用特制鎢絲加熱器,較高溫度可達(dá)1500℃;
- 真空:內(nèi)置分子泵機(jī)組,可獲取更高真空;
- 自動/手動模式:控溫模式可選,手動加程序控溫可隨意選擇。
| 項(xiàng)目/型號 | ECH - 1500 -Ⅰ |
| 較高溫度 | 1500℃(短期) |
| 長期使用溫度 | 1450℃ |
| 控溫方式 | 手動、30段程序控溫; |
| 樣品臺轉(zhuǎn)速 | 30rpm |
| 加熱形式 | 鎢絲 |
| 蒸發(fā)源數(shù)量 | 單個(其他可定制) |
| 進(jìn)氣口 | φ6mm卡套,可通入惰性氣體保護(hù); |
| 真空 | 極限真空5.0*10-5torr |
| 較大功率 | 1.5kW |
| 加熱較大電流 | 15A |
| 外形尺寸 | 750*600*1350mm |

























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