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儀表網(wǎng)>產(chǎn)品庫>流量儀表>其它流量儀表>其它>Aera FC-7700

Aera FC-7700

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2026-05-08
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量22
  • 人氣值841
產(chǎn)品標簽

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FLOWS Instuments co,Ltd集熱質式質量流量計,熱分布式質量流量計和調(diào)節(jié)儀(MFMMFC) 及多變量差壓質量流量計(MVX DP Mass Flow Meter)等各項產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)服務于一體。公司秉承科技之源,集世界-流專業(yè)人才, 以*的設備、嚴格的管理、-流的服務, 打造世界-流的品牌。公司是的一批量把熱式原理引入工業(yè)領域流量測量的企業(yè),具有熱式流量計研發(fā)和生產(chǎn)技術。產(chǎn)品在流量計量領域具有多項發(fā)明與創(chuàng)新,擁有多項*制造技術,并以其多變量測量技術生產(chǎn)的高穩(wěn)定性和高精度的傳感器著稱于世。公司產(chǎn)品涵蓋整個氣體流量測量范圍:小流量儀表可測量到低至2sccm流量的氣體,大流量儀表測量的管徑可高達8m的直徑。應用于工業(yè)的產(chǎn)品本公司研制出-系列的熱質式質量流量計,應用于各種行業(yè)。在綜合加工生產(chǎn)行業(yè)的市場中,本公司的流量儀表被廣泛應用,例如食品行業(yè)的空氣干化、壓縮空氣的監(jiān)控、石油化工行業(yè)的過程流量測量、密閉輸送和設備監(jiān)控。產(chǎn)品適合的行業(yè)包括:●化工行業(yè)●造紙業(yè). 食品加工●氣體生產(chǎn)和輸送●采礦和金屬加工業(yè)●半導體行業(yè)公司設計的DP-Mass,多變量差壓式質量流量計。它在設計上的區(qū)別是通過單晶硅多變量差壓變送器,進行精確的變量流量測量。而傳統(tǒng)的差壓式流量計要求三到五個儀表組成測量系統(tǒng),這是一個重要的優(yōu)勢。這個測量途徑減少了達50%的安裝時間,從而使用戶在儀表的使用期間整體花費更低。DP-Mass流量計很適合用于監(jiān)測高流速、壓力的氣體液體和蒸汽流量。它能夠從-一個單獨的設備輸出三種過程參數(shù),推薦于以下工業(yè)的許多應用中:●化工行業(yè)●地方的供暖和冷卻系統(tǒng)●電力和能源公用事業(yè)●氣體生產(chǎn)和輸送●水及廢水處理●冶金產(chǎn)品制造高精度的流量標定是流量儀表業(yè)務成功的關鍵。公司銷售的每一個儀表都在它的整 個測量范圍內(nèi)作了充分的校準。標定的程序不僅僅保證的精度,并且作了品質極限控制。鏟線上的流量標定設備可以校準的空氣流速為180Nm/s,對于大多數(shù)通用氣體的質量流量的可標定范圍是5000SLM理念和價值體現(xiàn)我們通過幫助客戶實現(xiàn)目標,我們的成功是用客戶對我們產(chǎn)品和服務的喜稅來衡量。我們提供精準的流量儀表,快速的售后服務并與忠誠和親切地與客戶建立密切合作關系。
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模擬金屬密封;流量范圍:10sccm-5slm;精度:≤±1%FS;進氣壓力:140psi(981kPa)美國AeraFC-7700系列質量流量計優(yōu)點:高性價比響應速度快:小于2秒的可靠性:使用一年以上
Aera FC-7700 產(chǎn)品詳情

模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質量流量計

優(yōu)點:
高性價比
響應速度快:小于2秒
的可靠性:使用一年以上,零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成:標準接頭和尺寸
出眾的效果:高品質膜層與蝕刻特性

特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許清洗流量:高達校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

FC-7700氣體質量流量計的詳細資料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產(chǎn)品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產(chǎn)品,該流量計采用非金屬密封,流量控制精確,性價比高。該產(chǎn)品專為從業(yè)于半導體、平板顯示、數(shù)據(jù)存儲、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設備工程師設計,同時,該系列產(chǎn)品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現(xiàn)出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價比高:
FC-7700系列產(chǎn)品專為那些要求頂極性能,但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制,不僅性價比好,而且控制精度非常高。
響應速度快:
FC-7700系列產(chǎn)品采用設計,工作性能遠遠優(yōu)于同類質量流量控制器MFC.其之處包括:采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外,與采用低速熱敏閥的同類產(chǎn)品相比,F(xiàn)C-7700系列產(chǎn)品采用常開或常閉式電磁閥,具有較快的響應速度。提高響應速度之后,避免了出現(xiàn)過沖,達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產(chǎn)品中是的。
的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、最少元器件的設計理念,這使它可以經(jīng)受強射頻場的干擾,滿足其它運轉要求,并具有同類產(chǎn)品中的零點漂移穩(wěn)定性--使用超過一年,零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上產(chǎn)品中,僅有不到0.5%的產(chǎn)品在出貨一年內(nèi)返修。
易于集成:
替換其它品牌,即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢,且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產(chǎn)品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸,可輕松裝入現(xiàn)有的系統(tǒng)。
出眾的效果:
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的一致性,同時還有高度的可重復性。
型號參數(shù):



類別FC-7700、7700C、7700CD、7700CUFC-7710、7710C、7710CD、7710CUFC-7720、7720C、7720CD
滿量程范圍10sccm到5slm6到20slm35到150slm
20到50slm
響應時間到達設定點±2%所需時間<2秒到達設定點±2%所需時間<3秒
精度滿量程±1%范圍內(nèi)滿量程±2%范圍內(nèi)
線性度滿量程±0.5%范圍內(nèi)滿量程±0.5%范圍內(nèi)滿量程±1%范圍內(nèi)
滿量程±1%范圍內(nèi)
重復精度滿量程±0.2%范圍內(nèi)
漏率值1×10-6atm-cc/秒(氦)
控制范圍滿量程的5到99%
壓差7至40 psi10至40 psi(517至2069托)21至40 psi(1086至2069托)
(362至2069托)14至40 psi(724至2069托)
正常工作壓力50 psi(2586托)
入口壓力值150 psi(7740托)
溫度范圍5至45℃



注:可根據(jù)不同客戶的需求,選擇全金屬密封的FC-7800CD系列,數(shù)字型的FC-D770系列,全金屬密封及數(shù)字型的FC-D980系列。

FC-7800_模擬金屬密封質量流量控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 進氣壓力:140 psi(981 kPa)

FC-D980_數(shù)字式金屬密封質量流量控制器
數(shù)字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-99% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 工作壓力:70 psig(490 kPag)

若需要各種品牌和型號MFC請與我聯(lián)系



Specifications

perational

FC-R7700CD/FC-R7700D Series

FC-R7710CD/FC-R7710D  Series

FC-R7720CD/FC-R7720D  Series

Full-Scale Range

10 sccm to 5 slm

N/O: 6 to 20 slm*  N/C:6 to 50 slm**

35 to 200 slm

Response Time

< 2 sec to  within ±2% of full  scale

< 3 sec to  within ±2% of full  scale

Accuracy

≤ ±1% of full scale

≤ ±2% of full scale


Linearity

≤ ± 0.5% of full scale

≤ ± 0.5% of full scale※1  

≤±1% of full scale

Repeatability

≤ ± 0.2% of full scale


Leak Integrity

1x10-6  atm-cc/sec (He) max; 1x10-7 Pa?m3 /sec (He) max


Control Range

2 to 99% of full  scale※2


Differential  Pressure

7 to 40 psiD

10 to 40 psiD 14 to  40 psiD

21 to 40 psiD※3

Normal Operating  Pressure

70 psig


Maximum Inlet Pressure  

140 psig  


Temperature Range

5 to 45°C (41 to 113°F)


* N/O: Normally Open Valve Model, ** N/C: Normally Closed Valve Model

※1: Less than ±1% for Full Scale Flow greater than 30SLM

※2: 5~99% for Full Scale Flow greater than 150SLM

※3: 28~43 psiD for Full Scale Flow greater than 150SLM

Physical

FC-R7700CD/FC-R7700D  Series

FC-R7710CD/FC-R7710D  Series

FC-R7720CD/FC-R7720D  Series

Control Valve Type

Normally-open or  normally-closed solenoid

Seals

Fluoroelastomer or  Chloroprene Rubber

Materials

Stainless-steel  type 316(L), PTFE, Magnetic Stainless, Fluoro Rubber, Chloroprene Rubber

Standard Fittings

1/4" VCR®, 1/4" VCO®, 1/4" Swagelok® compatible

1/4" VCR®, 3/8" VCR®

Attitude Sensitivity  

May be mounted in  any position

Top Connector  Position Recommended

Weight

1.0 kg (2.2 lb)

2.27 kg (5.0 lb)

Input Power

+15 VDC ±2% at 25 mA -15 VDC ±2% at  180 mA


+15 VDC ±2% at 25 mA -15 VDC ±2% at  200 mA

Power Consumption

3.1 W max


3.5 W max

Input Command  Signal

0 to 5 VDC



Output Indication

0 to 5 VDC



Product Type

Mass flow controller

FC-

…

…

…

…

…

…

…

RoHS Compliance

Compliant with RoHS directives

…

R

…

…

…

…

…

…

Full-Scale Range

10 sccm to 5 slm

…

…

7700

…

…

…

…

…

6 to 50 slm

…

…

7710

…

…

…

…

…

51 to 200 slm

…

…

7720

…

…

…

…

…

Control Valve

Normally-closed

…

…

…

C

…

…

…

…

Normally-open

…

…

…

(Blank)

…

…

…

…

Connector

Aera® 9-Pin D

…

…

…

…

D

…

…

…

Fittings

1/4” VCR®compatible

…

…

…

…

…

4V

…

…

3/8” VCR®compatible (772x  series only)

…

…

…

…

…

6V

…

…

1/4” VCO® compatible (770, 771 series only)

…

…

…

…

…

4O

…

…

1/4” Swagelok® compatible

…

…

…

…

…

4S

…

…

3/8” Swagelok® compatible (772x series only)

…

…

…

…

…

6S

…

…

Gas

Type of gas

…

…

…

…

…

…

N2

…

Flow

Flow range of gas (sccm or slm)

…

…

…

…

…

…

…

200

Single-Gas Example

FC-

R

7700

C

D

4V

N2

200 sccm

(MFC, RoHS  compliant, 9-pin D connector, normally-closed valve, 1/4” VCR® fittings, N2 gas, 200 sccm full-scale range)




Dimensions


FC-R7700CD/ FC-R7700D Series

FC-R7710CD/ FC-R7710D Series

FC-R7720CD/ FC-R7720D Series

A

12.7 mm (0.5”)

12.7 mm (0.5")

15.0 mm (0.6")

B

76.0 mm (3.0”)

78.5 mm (3.09")

133.5 mm (5.3”)

C

124.0 mm (4.9")

124.0 mm (4.9")

1/4” VCR fittings: 183.8 mm (7.2")

3/8" VCR fittings: 192.3 mm (7.6")

D

18.3 mm (0.72")

18.3 mm (0.72")

25.5 mm (1.0")

69.0 mm (2.7")

69.0 mm (2.7")

101.5 mm (4.0")

F

119.0 mm (4.7")

119.0 mm (4.7")

151.0 mm (4.0")

G

125.0 mm (4.92")

125.0 mm (4.92")

152.6 mm (6.0")

H

32.0 mm (1.3")

32.0 mm (1.3")

37.5 mm (1.5")

I

5.0 mm (0.2")

3.5 mm (0.14")

15.0 mm (0.6")









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