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MPTD 電子芯片制造用高低溫一體機(jī)

參考價(jià)訂貨量

28000

≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)MPTD
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時(shí)間2025-09-02
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)成都市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量153
  • 人氣值2574
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邁浦特科技公司于2010年成立于香港,蘇州邁浦特機(jī)械有限公司是邁浦特公司在大陸設(shè)立的生產(chǎn)基地,并于2017年在南通成立南通邁浦特公司。邁浦特—直致力于TCU溫控系統(tǒng),導(dǎo)熱油系統(tǒng),高低溫機(jī),模溫機(jī),油溫機(jī),水溫機(jī),油加熱器,電加熱油爐,冷水機(jī),冷熱一體機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)和技術(shù)咨詢,是為您提供工業(yè)溫度控制技術(shù)及解決方案的供應(yīng)商。

邁浦特借助于多年的成熟經(jīng)驗(yàn),以專業(yè)技術(shù)為橡塑材料,壓鑄,食品,化工,醫(yī)療,印刷,包裝,木材,壓機(jī),復(fù)合材料,碳纖維復(fù)材成型,鋰電池隔膜,橡膠輪胎,壓延,鞋材,烘干以及科研行業(yè)提供所需的各種溫控設(shè)備和技術(shù)服務(wù)。主要有產(chǎn)品包括模溫機(jī),油溫機(jī),水溫機(jī),油加熱器,冷水機(jī),電加熱油爐,防爆模溫機(jī),PLC模溫機(jī),水循環(huán)溫度控制機(jī),油循環(huán)溫度控制....




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邁浦特 MPTD 系列高低溫一體機(jī),電子芯片制造用高低溫一體機(jī),專為電子芯片制造設(shè)計(jì),控溫 - 60℃~250℃,精度 ±0.1℃,適配芯片制程各階段溫控。
采用定制 PLC 控制系統(tǒng),9 組獨(dú)立 PID 控溫,支持溫度切換。加熱功率 2.5~60kW,制冷量動(dòng)態(tài)適配,耐溫磁力油泵保障循環(huán)。10 重安全保護(hù),支持 24 小時(shí)運(yùn)行,數(shù)據(jù)可導(dǎo)出,為芯片制造提供穩(wěn)定溫控。
電子芯片制造用高低溫一體機(jī) 產(chǎn)品詳情

電子芯片制造用高低溫一體機(jī)

支持非標(biāo)定制,免費(fèi)提供技術(shù)規(guī)格書、方案。

用途特點(diǎn)

專為電子芯片制造工藝設(shè)計(jì),覆蓋 - 60℃~250℃超寬溫域,可精準(zhǔn)匹配芯片光刻、沉積、封裝等多環(huán)節(jié)的溫度需求。通過穩(wěn)定控制晶圓基底與工藝環(huán)境溫度,避免因溫度波動(dòng)導(dǎo)致的線路變形、性能衰減等缺陷,保障芯片良率與可靠性,適配邏輯芯片、存儲(chǔ)芯片、功率半導(dǎo)體等的制造場(chǎng)景。

核心優(yōu)勢(shì)

高精度動(dòng)態(tài)控溫

采用邁浦特定制 PLC 控制系統(tǒng),內(nèi)置 9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)段控溫邏輯,控溫精度達(dá) ±0.1℃。支持物料溫度、設(shè)備溫度及進(jìn)出口溫度的相互切換控制,搭配 AIPID 滯后預(yù)估算法,可實(shí)時(shí)響應(yīng)芯片制造過程中的瞬時(shí)溫度變化,滿足納米級(jí)制程對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

高效冷熱循環(huán)能力

加熱功率 2.5~60kW 可調(diào),制冷量隨溫度動(dòng)態(tài)適配(-55℃時(shí) 0.25~11kW,20℃時(shí) 2.5~60kW),搭配耐溫 - 110℃~350℃的定制磁力油泵,實(shí)現(xiàn)斜率控溫與快速控溫模式切換,滿足芯片制造中快速升降溫需求,縮短工藝周期。

安全穩(wěn)定運(yùn)行保障

配備 10 重安全保護(hù)裝置,包括溫度異常自動(dòng)斷電、電源逆相保護(hù)、泵浦超載報(bào)警、缺油保護(hù)等,通過 BY-PASS 泄壓回路保護(hù)管路系統(tǒng)。全密閉硅油循環(huán)設(shè)計(jì)降低介質(zhì)揮發(fā)風(fēng)險(xiǎn),高溫球閥耐溫達(dá) 300℃,支持 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行,適應(yīng)芯片量產(chǎn)需求。

技術(shù)參數(shù)(典型機(jī)型)

名稱參數(shù)
控溫范圍-60℃~250℃(可定制)
控溫精度±0.1℃
加熱功率2.5~60kW(可選)
制冷量-55℃時(shí) 0.25~11kW;20℃時(shí) 2.5~60kW(可選)
循環(huán)介質(zhì)硅油
通訊方式Modbus RS485(以太網(wǎng)可選)
電源3N-380V-50Hz(可定制)

智能操作與適配場(chǎng)景

支持 100 組可編程工藝程序,可預(yù)設(shè)不同芯片制程的溫度曲線,7 寸觸摸屏實(shí)時(shí)顯示溫度曲線,數(shù)據(jù)通過 USB 導(dǎo)出便于工藝追溯與優(yōu)化。進(jìn)出管徑可按需定制,制冷系統(tǒng)支持風(fēng)冷 / 水冷模式,適配潔凈車間環(huán)境,為芯片制造全流程提供穩(wěn)定溫控支持。

支持非標(biāo)定制,免費(fèi)提供技術(shù)規(guī)格書、方案。

電子芯片制造用高低溫一體機(jī)技術(shù)規(guī)格書示例








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