
| SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光,進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實(shí)現(xiàn)折射率,吸光率及膜厚的測量。 |
集成的精確測量系統(tǒng)
SpecEl由一個集成的光源,一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成,并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜,并且折射率測量可達(dá)0.005%。
SpecEl可通過電話問價(jià)。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件,你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析,所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后,你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。
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SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計(jì)算厚度,折射率及吸光率。 |
配置說明
| 波長范圍: | 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
| 光學(xué)分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 測量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點(diǎn)尺寸: | |
| 采樣時(shí)間: | 3-15s (最小) |
| 動態(tài)記錄: | 3 seconds |
| 機(jī)械公差 (height): | +/- |
| 膜層數(shù): | 至多32層 |
| 參考: | 不用 |






























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