
產(chǎn)品型號(hào):ATLEX-500-L
品牌名稱:德國(guó)ATL Lasertechnik
產(chǎn)品特點(diǎn):
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 電暈預(yù)電離
· 固態(tài)開(kāi)關(guān)
· 延長(zhǎng)動(dòng)態(tài)和靜態(tài)氣體壽命(數(shù)月)
· 激光頭容積6 L
· 全部風(fēng)冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統(tǒng),便于氣體處理
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn),符合RoHS規(guī)范
· 模塊化設(shè)計(jì)/服務(wù)友好
產(chǎn)品參數(shù):
| ATLEX-500-L產(chǎn)品參數(shù) | |||
| 氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 |
| 波長(zhǎng) | 193 | 248 | nm |
| 高壓開(kāi)關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開(kāi)關(guān) | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 重復(fù)頻率 | 500 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
| 能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差) | < 2 | % | |
| 尺寸(長(zhǎng)x寬x高) | 600 x 415 x 567 | mm | |
| 重量 | 70 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的,恕不另行通知。
1 在重復(fù)頻率情況下測(cè)得: 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會(huì)有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM



































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