
產(chǎn)品型號:ATLEX-500-FBG
品牌名稱:德國ATL Lasertechnik
德國ATL Lasertechnik生產(chǎn)的ATLEX-FBG系列專為FBG 刻寫設(shè)計,具備出色的空間相干性指標(biāo)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 軟電暈預(yù)電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC(全金屬陶瓷)管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風(fēng)冷,主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標(biāo)準(zhǔn)
· 符合RoHS規(guī)范
產(chǎn)品參數(shù):
| ATLEX-500-FBG產(chǎn)品參數(shù) | |||
| 氣體介質(zhì) | ArF | KrF | 單位 |
| 波長 | 193 | 248 | nm |
| 高壓開關(guān)技術(shù) | 固態(tài)開關(guān) | | |
| 脈沖能量1 | 10 | 15 | mJ |
| 平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
| 空間相干性(垂直波束方向) | >300 | >300 | µm |
| 重復(fù)頻率 | 500 | Hz | |
| 脈沖寬度2 | 5 – 8 | ns | |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
| 能量穩(wěn)定性(標(biāo)準(zhǔn)偏差) | < 3 | % | |
| 尺寸(長x寬x高) | 540 x 470 x 370 | mm | |
| 重量 | 60 | kg | |
| 冷卻 | Cooling Air / Optional Liquid | | |
| 電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | | |
所有規(guī)格均為典型數(shù)據(jù),如有因產(chǎn)品改進(jìn)而更改的,恕不另行通知。
1 在重復(fù)頻率情況下測得: 應(yīng)用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值,FWHM



































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