- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小
- 模塊化設(shè)計(jì),配置靈活、可擴(kuò)展
- 成熟的工藝槽設(shè)計(jì),確保工藝穩(wěn)定性
- 精確的化學(xué)稱量系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量工藝
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 晶圓尺寸6、8 英寸
- 適用材料硅,碳化硅,硅基氮化鎵
- 適用工藝預(yù)清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、拋光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗
- 適用領(lǐng)域集成電路、襯底材料、化合物半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體
































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