- 設(shè)備特點(diǎn)
-
- 全自動(dòng)清洗,浸泡式清洗與噴淋式清洗工藝可選
- 一機(jī)多用,可兼容石英管/舟/工件清洗
- 自主研發(fā)控制系統(tǒng),友好的人機(jī)交互界面
- 自動(dòng)配液系統(tǒng),換酸便捷
- 分級(jí)安全互鎖設(shè)置,確保設(shè)備安全可靠
- 產(chǎn)品應(yīng)用
-
- 晶圓尺寸8、12 英寸
- 適用材料石英、碳化硅
- 適用工藝石英管/ 舟、石英板、點(diǎn)火炮、基座等零部件浸泡式清洗
- 適用領(lǐng)域集成電路、功率半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體、科研領(lǐng)域
































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