半導(dǎo)體電子信息設(shè)備冷卻冷熱一體機(MAIPT MPTD 系列)產(chǎn)品簡介
支持非標定制,免費提供技術(shù)規(guī)格書、方案。
一、產(chǎn)品定位與核心用途
專為半導(dǎo)體生產(chǎn)場景研發(fā)設(shè)計,核心用于半導(dǎo)體芯片制程(如晶圓蝕刻、薄膜沉積)、光刻設(shè)備、封裝測試設(shè)備等的精準冷卻溫控,通過導(dǎo)熱硅油循環(huán)快速帶走設(shè)備運行產(chǎn)生的熱量,維持半導(dǎo)體設(shè)備核心部件(如芯片、光刻鏡頭、反應(yīng)腔)的穩(wěn)定溫度。適配 12 英寸 / 8 英寸晶圓生產(chǎn)線、IC 封裝測試等不同規(guī)模半導(dǎo)體生產(chǎn)需求,可應(yīng)對設(shè)備瞬時高溫負荷(如蝕刻過程放熱)與低溫環(huán)境啟動(如車間恒溫 23℃下設(shè)備預(yù)熱),避免溫度波動導(dǎo)致芯片良率下降、光刻精度偏差或設(shè)備部件損壞。設(shè)備支持在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對濕度、±4℃/h 溫差工況下每周 7 天、每天 24 小時連續(xù)運行,符合半導(dǎo)體行業(yè)對生產(chǎn)連續(xù)性與環(huán)境穩(wěn)定性的嚴苛要求,保障半導(dǎo)體生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。
二、核心性能特點
1. 寬幅高精度控溫,適配半導(dǎo)體冷卻需求
控溫范圍覆蓋 - 45℃~300℃(可定制),可根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備不同環(huán)節(jié)靈活調(diào)節(jié):芯片蝕刻過程需穩(wěn)定維持 25℃±0.1℃,光刻設(shè)備鏡頭冷卻需控制在 20℃±0.1℃,低溫測試環(huán)節(jié)可降至 - 40℃,控溫精度達 PID±0.1℃,嚴格控制溫度偏差在半導(dǎo)體生產(chǎn)允許范圍內(nèi)。采用邁浦特定制 PLC 控溫系統(tǒng),內(nèi)置 9 組獨立 PID 溫區(qū)段控制邏輯,可實時調(diào)節(jié)比例帶、積分時間與微分時間,支持物料溫度(設(shè)備核心部件溫度)、本機溫度及硅油進出口溫度相互切換控溫,適配設(shè)備預(yù)熱、生產(chǎn)冷卻、停機保溫等不同階段需求;同時支持 100 組可編工藝程序,每組含 100 條步驟,可預(yù)設(shè)不同半導(dǎo)體制程的溫度曲線(如從室溫以 0.5℃/min 平穩(wěn)降至 20℃并恒溫),一鍵調(diào)用減少人工調(diào)試時間,提升生產(chǎn)流程一致性。
2. 潔凈穩(wěn)定的循環(huán)與換熱系統(tǒng)
采用直接加熱(直接冷卻)方式,加熱功率 5.5~25kW(可選購),制冷量根據(jù)溫度區(qū)間精準適配(-40℃時 0.9~4.7kW、0℃時 5.5~25kW、20℃時 5.5~25kW),可快速響應(yīng)半導(dǎo)體設(shè)備的溫度變化:設(shè)備啟動時快速升溫至工作溫度,高負荷運行時迅速降溫,避免局部過熱。加熱管為 SUS316L 不銹鋼材質(zhì),法蘭型連接且搭配陶瓷絕熱設(shè)計,耐腐蝕、無金屬離子溶出,避免污染導(dǎo)熱介質(zhì)進而影響半導(dǎo)體設(shè)備;循環(huán)系統(tǒng)配備邁浦特定制磁力油泵,耐溫 - 110℃~350℃,軸承采用日本 NSK 軸封,運行無泄漏,確保硅油循環(huán)均勻,防止設(shè)備局部溫度失衡;主管路系統(tǒng)為不銹鋼材質(zhì),經(jīng)無縫氬弧焊接工藝處理,密封性強,減少硅油泄漏隱患,且管路內(nèi)壁光滑,降低雜質(zhì)殘留風(fēng)險,適配半導(dǎo)體車間潔凈要求。采用全密閉管道式設(shè)計與高效板式換熱器,降低導(dǎo)熱油需求量的同時提升熱量利用率,實現(xiàn)溫度快速升降與精準維持,且膨脹箱內(nèi)硅油不參與循環(huán)、溫度維持在常溫~60℃,減少硅油氧化與揮發(fā),延長介質(zhì)使用壽命,降低維護頻率。
3. 智能操作與數(shù)據(jù)追溯
配備 7 寸邁浦特定制觸摸顯示屏,實時顯示半導(dǎo)體設(shè)備核心部件溫度、硅油進出口溫度及溫度曲線,設(shè)定溫度與實際溫度分別顯示,操作直觀易懂,便于運維人員實時掌握設(shè)備溫控狀態(tài)。支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能,可按時間周期(如每 5 分鐘)導(dǎo)出溫度數(shù)據(jù),包含設(shè)定溫度、實際溫度、系統(tǒng)運行狀態(tài)及告警記錄等信息,數(shù)據(jù)可追溯至 24 個月,便于半導(dǎo)體生產(chǎn)過程的參數(shù)追溯與良率分析,符合半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求;通訊方式標配 Modbus RS485,可與半導(dǎo)體生產(chǎn)線 MES 系統(tǒng)聯(lián)動,實現(xiàn)設(shè)備溫控的智能化監(jiān)控與遠程操作,減少人工干預(yù),降低操作誤差。
4. 全面安全保護,規(guī)避生產(chǎn)風(fēng)險
具備 10 重安全保護裝置,多維度保障設(shè)備運行與半導(dǎo)體生產(chǎn)安全:循環(huán)硅油溫度超設(shè)備安全上限(如設(shè)定 30℃)時自動切斷電源,防止設(shè)備過熱損壞;溫度低于設(shè)定下限(如低溫保護 5℃)時發(fā)出警報并停機,避免管路凍裂;液位開關(guān)實時檢測油位,防止缺油導(dǎo)致循環(huán)中斷,保障溫控連續(xù)。電源相位檢測防止泵浦反轉(zhuǎn),避免硅油循環(huán)停滯導(dǎo)致設(shè)備溫度驟升;熱繼電器保護泵浦超載,管路阻塞時通過 BY-PASS 泄壓回路保護泵浦;系統(tǒng)壓力異常自動停止加熱并啟動泄壓,避免管路超壓;還具備手動 / 自動排氣功能、短路保護及緊急停止按鈕,可應(yīng)對設(shè)備異常、管路堵塞等突發(fā)狀況,降低因設(shè)備故障導(dǎo)致的半導(dǎo)體生產(chǎn)中斷風(fēng)險,減少晶圓報廢損失。
三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)(典型機型)
| 參數(shù)類別 | 具體參數(shù) |
|---|---|
| 電源規(guī)格 | 3N-380V-50Hz(可定制),允許電壓波動 ±10%,相間電壓差 ±2% |
| 總電功率 | 9.5~37kW(380V 3N) |
| 循環(huán)介質(zhì) | 導(dǎo)熱硅油(需潔凈無雜質(zhì),符合半導(dǎo)體行業(yè)潔凈要求) |
| 控溫范圍 | -45℃~300℃ |
| 控溫精度 | PID±0.1℃ |
| 控溫方式 | PLC(邁浦特定制控溫系統(tǒng)),支持物料溫度、本機溫度、進出口溫度相互切換 |
| 加熱功率 | 5.5~25kW(可選購) |
| 制冷量 | -40℃時 0.9~4.7kW,-20℃時 2.9~16kW,0℃/20℃/300℃時 5.5~25kW(可選購) |
| 節(jié)流方式 | 電子膨脹閥或毛細管 |
| 油泵性能 | 邁浦特定制磁力油泵,耐溫 - 110℃~350℃,揚程、流量可定制 |
| 壓縮機 | 美國谷輪壓縮機 / 卡萊爾壓縮機 |
| 測溫體 | PT100(中國臺灣銘揚) |
| 進出口管徑 | 可根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備(如蝕刻機、光刻機)接口需求選配 |
| 排油口 | 內(nèi)螺紋 Rc1/2",1 組 |
| 安全保護 | 溫度異常、電源逆相、泵浦超載、缺油、管路阻塞、壓力異常等 10 重保護 |
| 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | USB 接口,支持按時間周期導(dǎo)出溫度數(shù)據(jù) |
| 通訊方式 | 標配 Modbus RS485(以太網(wǎng)通訊可選) |
| 工作環(huán)境 | 溫度 0-40℃,相對濕度 50%-80%,溫差 ±4℃/h |
四、安裝與環(huán)境適配要求
1. 安裝規(guī)范
電源配置:需使用三相 380V 50Hz + 地線,建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線(由需方自備),確保電源穩(wěn)定,避免電壓波動影響控溫精度,防止因電壓不穩(wěn)導(dǎo)致半導(dǎo)體設(shè)備溫控偏差。
管路連接:機器熱油出入口建議采用硬管連接,必要時可配耐高溫不銹鋼軟管(長度不超過 3 米,由需方自備)并加保溫管,減少熱量損耗;制冷系統(tǒng)可選風(fēng)冷型或水冷型,風(fēng)冷型需保證半導(dǎo)體車間配套機房有足夠散熱空間,水冷型需確保冷卻水溫度在 20℃左右且潔凈無懸浮物,避免堵塞管路影響制冷效果;管路連接前需進行潔凈處理,防止雜質(zhì)進入循環(huán)系統(tǒng)污染導(dǎo)熱油。
調(diào)試條件:需在油、電供應(yīng)正常,半導(dǎo)體設(shè)備管路連接完成后進行安裝調(diào)試,確保設(shè)備與半導(dǎo)體設(shè)備溫控聯(lián)動順暢;調(diào)試后需空載試運行 24 小時,確認溫度控制穩(wěn)定、無泄漏,且與半導(dǎo)體生產(chǎn)線 MES 系統(tǒng)通訊正常后方可投入使用。
2. 環(huán)境適配
設(shè)備可直接部署于半導(dǎo)體車間或配套機房,機架采用碳鋼材質(zhì)(板厚 2mm,噴塑處理),防腐蝕、易清潔,能耐受半導(dǎo)體車間常見的潔凈、低塵環(huán)境,無需特殊改造車間即可安裝。設(shè)備運行噪音低、振動小,不會對半導(dǎo)體設(shè)備(如光刻設(shè)備)的精密運行造成干擾,也不會影響車間潔凈度,適配半導(dǎo)體生產(chǎn)對環(huán)境的嚴苛要求。
五、售后服務(wù)保障
1. 保修政策
自設(shè)備送達需方半導(dǎo)體生產(chǎn)場地起 1 年內(nèi),正常使用下出現(xiàn)故障(如控溫精度下降、油泵故障),供方提供免費維修服務(wù),所需原廠配件(如德國西門子接觸器、美國快達固態(tài)繼電器)由供方免費提供,不收取任何費用;保修期內(nèi)若因人為操作失誤(如介質(zhì)加錯、管路未清理)或天災(zāi)導(dǎo)致設(shè)備損壞,供方僅收取交通費和零件費;保修期外提供長期維修服務(wù),收取合理的人工、零件及交通費用,保障設(shè)備長期穩(wěn)定支持半導(dǎo)體生產(chǎn)。
2. 故障響應(yīng)
半導(dǎo)體生產(chǎn)具有連續(xù)性強、停機損失大的特點,設(shè)備發(fā)生故障時,需方技術(shù)人員可先電話通知供方售后服務(wù)人員,詳細描述故障情況(如溫度波動超標、報警提示),供方售后工程師將在 15 分鐘內(nèi)提供電話指導(dǎo)排障;若故障無法通過電話解決,供方將在 24 小時內(nèi)安排人員(聯(lián)系:①⑧①零⑧①②⑨零⑧②)上門維修,減少設(shè)備停機對半導(dǎo)體生產(chǎn)的影響,降低晶圓報廢風(fēng)險。
3. 定制支持
可根據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備的特殊需求定制配件品牌(如指定無油壓縮機、高潔凈度油泵,確保與半導(dǎo)體車間環(huán)境兼容),也可定制遠程控制功能(如 PROFINET、PROFIBUS 協(xié)議)、多點溫度監(jiān)測(如同時監(jiān)測半導(dǎo)體設(shè)備多個核心部件溫度)、溫度數(shù)據(jù)審計追蹤(符合半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求)等功能(需額外付費);還可定制熱媒介進出口管徑與換熱面積,貼合不同型號半導(dǎo)體設(shè)備(如蝕刻機、封裝測試設(shè)備)的溫控需求,提升設(shè)備與半導(dǎo)體生產(chǎn)線的適配性。
半導(dǎo)體電子信息設(shè)備冷卻冷熱一體機(MAIPT MPTD 系列)產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書示例














































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