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MPO 光刻膠生產(chǎn)用模溫機(jī)穩(wěn)定反應(yīng)

參考價(jià)訂貨量

¥25000

≥1件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)MPO
  • 品牌
  • 所在地成都市
  • 更新時(shí)間2026-02-05
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)成都市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量153
  • 人氣值2897
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邁浦特科技公司于2010年成立于香港,蘇州邁浦特機(jī)械有限公司是邁浦特公司在大陸設(shè)立的生產(chǎn)基地,并于2017年在南通成立南通邁浦特公司。邁浦特—直致力于TCU溫控系統(tǒng),導(dǎo)熱油系統(tǒng),高低溫機(jī),模溫機(jī),油溫機(jī),水溫機(jī),油加熱器,電加熱油爐,冷水機(jī),冷熱一體機(jī)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)和技術(shù)咨詢,是為您提供工業(yè)溫度控制技術(shù)及解決方案的供應(yīng)商。

邁浦特借助于多年的成熟經(jīng)驗(yàn),以專業(yè)技術(shù)為橡塑材料,壓鑄,食品,化工,醫(yī)療,印刷,包裝,木材,壓機(jī),復(fù)合材料,碳纖維復(fù)材成型,鋰電池隔膜,橡膠輪胎,壓延,鞋材,烘干以及科研行業(yè)提供所需的各種溫控設(shè)備和技術(shù)服務(wù)。主要有產(chǎn)品包括模溫機(jī),油溫機(jī),水溫機(jī),油加熱器,冷水機(jī),電加熱油爐,防爆模溫機(jī),PLC模溫機(jī),水循環(huán)溫度控制機(jī),油循環(huán)溫度控制....




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光刻膠生產(chǎn)用模溫機(jī)穩(wěn)定反應(yīng),控溫范圍 45~180℃,精度達(dá) PID±1℃(可選 ±0.1℃),9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)保障反應(yīng)均溫性。采用邁浦特 PLC 可編程系統(tǒng),支持 100 組程序編輯,適配多階段反應(yīng)工藝。316L 不銹鋼加熱管搭配全密閉管路,防污染契合光刻膠潔凈生產(chǎn)需求,多重安全防護(hù)杜絕異常工況。設(shè)備支持?jǐn)?shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄與導(dǎo)出,通訊兼容 Modbus RS485。
光刻膠生產(chǎn)用模溫機(jī)穩(wěn)定反應(yīng) 產(chǎn)品詳情

光刻膠生產(chǎn)用模溫機(jī)穩(wěn)定反應(yīng)(MPO 系列)產(chǎn)品簡介

支持非標(biāo)定制,免費(fèi)提供技術(shù)規(guī)格書、方案。

一、產(chǎn)品定位與核心用途

專為光刻膠生產(chǎn)全流程反應(yīng)穩(wěn)定溫控需求研發(fā)設(shè)計(jì),屬于邁浦特 MPO 系列 45℃~180℃油循環(huán)溫度控制機(jī)范疇,核心用于解決光刻膠合成、固化、提純等反應(yīng)過程中溫度波動(dòng)導(dǎo)致的產(chǎn)品純度不足、光刻精度偏差、分子結(jié)構(gòu)不均及批次一致性差等問題。通過導(dǎo)熱油循環(huán)構(gòu)建 45℃~180℃精準(zhǔn)可控的恒溫環(huán)境,適配光刻膠單體聚合反應(yīng)、光敏劑復(fù)合反應(yīng)、樹脂固化反應(yīng)、精密提純溫控等關(guān)鍵場(chǎng)景,為提升光刻膠產(chǎn)品合格率(降低不良率≥6%)、保障光刻分辨率與附著力、滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)提供核心溫控支撐。
適配半導(dǎo)體材料制造商、光刻膠生產(chǎn)企業(yè)、微電子研發(fā)中心等場(chǎng)景,可在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對(duì)濕度、±4℃/h 溫差工況下每周 7 天、每天 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行,契合半導(dǎo)體行業(yè)對(duì) “高潔凈度、高穩(wěn)定性、低污染風(fēng)險(xiǎn)、可追溯” 的嚴(yán)苛要求,同時(shí)滿足 SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備與材料國際標(biāo)準(zhǔn))、GB/T 35164(半導(dǎo)體材料術(shù)語)等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn),保障光刻膠生產(chǎn)反應(yīng)過程合規(guī)、高效開展。

二、核心性能特點(diǎn)

1. 精準(zhǔn)控溫適配,覆蓋全流程反應(yīng)需求

控溫范圍覆蓋 45℃~180℃,溫控精度達(dá) PID±1℃(可選 ±0.1℃超高精度),采用邁浦特 PLC 控溫系統(tǒng)(內(nèi)置 9 組獨(dú)立 PID 溫區(qū)段控制邏輯),搭配邁浦特定制 PT100 鉑電阻測(cè)溫體,響應(yīng)迅速(≤0.1 秒)、誤差小,可精準(zhǔn)匹配光刻膠生產(chǎn)不同反應(yīng)階段的溫控需求:
  • 單體聚合反應(yīng)恒溫:60℃~90℃±0.1℃(維持聚合反應(yīng)速率穩(wěn)定,確保光刻膠分子鏈長度均勻,提升產(chǎn)品純度);

  • 光敏劑復(fù)合反應(yīng):80℃~120℃±0.1℃(精準(zhǔn)控制復(fù)合反應(yīng)進(jìn)程,避免光敏劑分解或反應(yīng)不充分,保障光刻靈敏度);

  • 樹脂固化反應(yīng):100℃~150℃±0.1℃(梯度升溫模式,0.2℃/min~0.5℃/min 可調(diào),確保樹脂交聯(lián)均勻,提升光刻膠附著力);

  • 精密提純溫控:45℃~80℃±0.05℃(穩(wěn)定控制提純過程溫度,減少有效成分揮發(fā),提高產(chǎn)品收率);

  • 批次一致性溫控:50℃~130℃±0.1℃(多批次生產(chǎn)時(shí)保持溫控參數(shù)一致,解決批次間性能差異問題)。

系統(tǒng)支持進(jìn)出口溫度相互切換控溫,加熱冷卻雙 PID 協(xié)同控制,能快速響應(yīng)反應(yīng)體系熱負(fù)荷突變(如放熱反應(yīng)溫度驟升),確保反應(yīng)釜內(nèi)溫度波動(dòng)≤±0.3℃,避免因溫度偏差導(dǎo)致光刻膠光刻分辨率下降超 0.1μm。
支持 100 組可編工藝程序,每組含 100 條步驟,可預(yù)設(shè) “聚合反應(yīng)→復(fù)合反應(yīng)→固化反應(yīng)→提純溫控” 全流程曲線(如 “60℃恒溫 24h(單體聚合)→90℃升溫(0.3℃/min,復(fù)合準(zhǔn)備)→90℃恒溫 18h(光敏劑復(fù)合)→120℃升溫(0.2℃/min,固化準(zhǔn)備)→120℃恒溫 12h(樹脂固化)→70℃降溫(0.4℃/min,提純準(zhǔn)備)→70℃恒溫 10h(精密提純)”),一鍵調(diào)用自動(dòng)執(zhí)行。配備 7 寸邁浦特定制觸摸顯示屏,實(shí)時(shí)顯示溫度數(shù)據(jù)與動(dòng)態(tài)曲線;支持 USB 導(dǎo)出 24 個(gè)月數(shù)據(jù),標(biāo)配 Modbus RS485 通訊,可與光刻膠生產(chǎn) DCS 系統(tǒng)聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)溫控參數(shù)與反應(yīng)數(shù)據(jù)(粘度、固含量、光響應(yīng)值)同步采集,全程可追溯。

2. 潔凈穩(wěn)定運(yùn)行,契合光刻膠生產(chǎn)嚴(yán)苛工況

  • 高效潔凈控溫設(shè)計(jì):采用直接加熱方式,加熱功率 6~720kW 可按需適配(實(shí)驗(yàn)室小試選 6~30kW,量產(chǎn)生產(chǎn)線選 100~720kW)。加熱管選用 SUS316L 不銹鋼材質(zhì),法蘭型連接搭配陶瓷絕熱設(shè)計(jì),無污染物析出、耐化學(xué)介質(zhì)腐蝕,熱效率達(dá) 95% 以上;全密閉管道式設(shè)計(jì)結(jié)合高效板式換熱器,減少導(dǎo)熱油揮發(fā)與污染風(fēng)險(xiǎn),快速響應(yīng)溫度調(diào)節(jié)需求(如從 60℃升至 120℃僅需 25 分鐘),適配光刻膠反應(yīng)長周期、高潔凈需求。

配備邁浦特定制油泵(耐溫 - 40℃~320℃,日本 NSK 軸封),揚(yáng)程 28~100M、流量 6.5~250m3/h,運(yùn)行振動(dòng)≤0.2mm/s,確保導(dǎo)熱油在反應(yīng)釜夾套或盤管內(nèi)均勻循環(huán),大型反應(yīng)釜(容積≥500L)不同區(qū)域溫度偏差≤±0.5℃。導(dǎo)熱油選用高穩(wěn)定性、低揮發(fā)、化學(xué)惰性型號(hào)(揮發(fā)量≤0.1%/100h@150℃),與光刻膠原料(樹脂、單體、光敏劑)無兼容性風(fēng)險(xiǎn),不污染反應(yīng)體系;高溫 Y 型過濾器過濾導(dǎo)熱油中雜質(zhì),避免堵塞流道;油氣分離器將導(dǎo)熱油中水氣分離,防止冷凝水混入反應(yīng)體系引發(fā)副反應(yīng)。
  • 低擾與潔凈設(shè)計(jì):設(shè)備運(yùn)行噪音≤65dB,不干擾潔凈車間環(huán)境;整機(jī)采用 2mm 厚碳鋼噴塑機(jī)架,表面光滑易清潔,可耐受半導(dǎo)體車間常規(guī)消毒(如酒精擦拭),無粉塵脫落風(fēng)險(xiǎn);電氣系統(tǒng)采用防濺水設(shè)計(jì),適配潔凈車間潮濕環(huán)境;膨脹箱內(nèi)置且密封良好,避免外界污染物進(jìn)入循環(huán)系統(tǒng),降低光刻膠生產(chǎn)污染風(fēng)險(xiǎn);主管路采用碳鋼無縫氬弧焊接工藝,內(nèi)壁光滑,不易滋生雜質(zhì),符合潔凈生產(chǎn)要求。

3. 多重安全保護(hù),規(guī)避高價(jià)值生產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)

具備 10 重全面安全保護(hù)裝置,針對(duì)光刻膠生產(chǎn) “高原料成本、長生產(chǎn)周期、容錯(cuò)” 特性定制安全邏輯:
  • 溫度與介質(zhì)保護(hù):循環(huán)導(dǎo)熱油超安全溫度上限(如 180℃,防止光刻膠碳化、分解)或低于設(shè)定下限(如 45℃,避免反應(yīng)停滯)時(shí),自動(dòng)切斷電源并聲光報(bào)警,同時(shí)聯(lián)動(dòng)反應(yīng)釜停止進(jìn)料;液位開關(guān)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)油位,缺油時(shí)立即停機(jī),避免油泵空轉(zhuǎn)損壞,防止溫控中斷導(dǎo)致高價(jià)光刻膠原料(單批次價(jià)值數(shù)萬元)報(bào)廢。

  • 動(dòng)力與壓力保護(hù):瑞士 CARLO DPA51CM44 逆相保護(hù)器檢測(cè)電源相位,防止泵浦反轉(zhuǎn);德國西門子 / 法國施耐德熱繼電器保護(hù)泵浦與加熱管超載,報(bào)警提示;系統(tǒng)壓力異常時(shí)自動(dòng)停止加熱并啟動(dòng) BY-PASS 泄壓回路,避免管路爆裂引發(fā)安全事故;管路阻塞時(shí),泄壓回路保護(hù)泵浦,保障循環(huán)系統(tǒng)穩(wěn)定,避免生產(chǎn)中途中斷。

  • 應(yīng)急與操作保護(hù):配備緊急停止按鈕,設(shè)備異常(如短路、泄漏)時(shí)可快速切斷運(yùn)行,適配車間應(yīng)急處置;支持手動(dòng) / 自動(dòng)排氣功能,快速排出系統(tǒng)內(nèi)空氣,預(yù)防氣阻致局部溫度偏差;空氣開關(guān)實(shí)現(xiàn)短路(超溫)保護(hù),避免引發(fā)電氣安全事故;具備故障自診斷與記錄功能,便于故障追溯與車間質(zhì)量審核。

4. 定制化適配,貼合光刻膠生產(chǎn)場(chǎng)景需求

  • 接口與布局定制:熱媒體進(jìn) / 出口管徑、冷卻水進(jìn)出口管徑可根據(jù)反應(yīng)釜、提純?cè)O(shè)備接口規(guī)格定制,支持多種尺寸選擇,無需改造現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備,降低安裝成本;可根據(jù)潔凈車間空間(緊湊實(shí)驗(yàn)室、大型生產(chǎn)線)定制機(jī)架尺寸與安裝方式(落地式、嵌入式可選),底部加裝減震腳墊,適配設(shè)備密集布局與低振動(dòng)需求;針對(duì)多反應(yīng)釜并行生產(chǎn),可定制多出口管路與多點(diǎn)溫控功能,同時(shí)為不同反應(yīng)釜獨(dú)立控溫,確保各工位反應(yīng)一致性。

  • 功能擴(kuò)展定制:支持 PROFINET、PROFIBUS 遠(yuǎn)程控制功能定制,可與光刻膠生產(chǎn)監(jiān)控中心聯(lián)動(dòng),實(shí)現(xiàn)溫控參數(shù)遠(yuǎn)程調(diào)節(jié)、運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)監(jiān)控、故障告警推送,適配無人值守的規(guī)模化生產(chǎn);可選配流量監(jiān)測(cè)和壓力監(jiān)測(cè)功能,實(shí)時(shí)掌握循環(huán)系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài),提前預(yù)警管路阻塞、泄漏等風(fēng)險(xiǎn);可加大換熱面積,提升高溫反應(yīng)階段的控溫穩(wěn)定性;支持加熱功率切換功能,適配小試、中試、量產(chǎn)不同階段的熱負(fù)荷需求。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)(典型機(jī)型)

參數(shù)類別具體參數(shù)
電源規(guī)格3N-380V-50Hz(可定制)
總功率6.75~744kW
總電流26.5~235A
熱媒體化學(xué)惰性高穩(wěn)定性導(dǎo)熱油(耐 - 40℃~320℃,低揮發(fā)、無毒性、與光刻膠原料兼容)
控溫范圍45℃~180℃(核心反應(yīng)區(qū)間 45℃~150℃)
控溫精度PID±1℃(可選 ±0.1℃超高精度)
控溫方式邁浦特 PLC 系統(tǒng),9 組獨(dú)立 PID 分段控溫,進(jìn)出口溫度可相互切換,加熱冷卻雙 PID 控制
加熱功率6~720kW(可選購,適配不同生產(chǎn)規(guī)模)
循環(huán)泵邁浦特定制油泵,耐溫 - 40℃~320℃,日本 NSK 軸封(揚(yáng)程 28~100M,流量 6.5~250m3/h)
膨脹箱容量最小約 25L~ 約 5000L(適配不同導(dǎo)熱油容量需求)
安全保護(hù)溫度異常、電源逆相、泵浦超載、缺水、壓力異常、管路阻塞等 10 重保護(hù)
數(shù)據(jù)功能7 寸觸摸顯示屏(實(shí)時(shí)溫度 + 曲線),USB 導(dǎo)出 24 個(gè)月數(shù)據(jù),Modbus RS485 通訊
工作環(huán)境溫度 0-40℃,相對(duì)濕度 50%-80%,耐清潔、低噪音、無污染物析出(符合潔凈車間要求)

四、安裝與環(huán)境適配要求

1. 安裝規(guī)范

  • 電源配置:需使用三相 380V 50Hz + 地線,建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線(由需方自備),電纜規(guī)格根據(jù)設(shè)備總功率匹配(如 6.75kW 機(jī)型選 3x4mm2+1x2.5mm2),確保電源輸出穩(wěn)定,避免電壓波動(dòng)影響溫控精度;做好接地處理,防止電磁干擾影響生產(chǎn)監(jiān)控系統(tǒng),同時(shí)滿足半導(dǎo)體車間電氣安全要求。

  • 管路連接:熱媒體出入口、冷卻水出入口建議采用不銹鋼硬管連接,需彎折時(shí)可配備耐高溫 350℃不銹鋼軟管(長度≤3 米,需方自備)并加裝保溫管,減少熱損耗;冷卻水管路需選用高壓耐熱水管(耐熱約 200℃),接口尺寸根據(jù)設(shè)備定制,冷卻水需為不含懸浮物的干凈水,壓力 0.15-0.3Mpa,PH 值 7.5-8.5,水硬度<200mg/L(以 CaCO?計(jì)),避免換熱器結(jié)垢。

  • 調(diào)試條件:在導(dǎo)熱油、電供應(yīng)正常且與反應(yīng)釜、提純?cè)O(shè)備連接完成后調(diào)試,先空載試運(yùn)行 24 小時(shí),驗(yàn)證控溫精度、循環(huán)穩(wěn)定性及安全保護(hù)功能正常;再帶載調(diào)試(模擬光刻膠反應(yīng)熱負(fù)荷),確保反應(yīng)體系溫度均勻性達(dá)標(biāo)、無污染物析出后,方可投入正式生產(chǎn)。

2. 環(huán)境適配

設(shè)備機(jī)架采用 2mm 厚碳鋼噴塑處理,防腐蝕、易清潔,可耐受潔凈車間常規(guī)消毒與清潔方式,適應(yīng)無菌環(huán)境要求;運(yùn)行適配 0-40℃常規(guī)車間溫度范圍,無需額外恒溫改造,降低潔凈車間建設(shè)成本;整體設(shè)計(jì)緊湊,可靈活擺放于反應(yīng)釜旁、車間角落或?qū)S迷O(shè)備區(qū),不占用核心生產(chǎn)空間,契合光刻膠生產(chǎn) “高效、整潔、潔凈” 的布局需求;設(shè)備密封性能優(yōu)良,可有效防止粉塵、水汽、清潔試劑進(jìn)入內(nèi)部部件,延長使用壽命,適配長期連續(xù)生產(chǎn)工況。

光刻膠生產(chǎn)用模溫機(jī)穩(wěn)定反應(yīng)(MPO 系列)產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書示例
















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