邁浦特科技公司于2010年成立于香港，蘇州邁浦特機械有限公司是邁浦特公司在大陸設(shè)立的生產(chǎn)基地，并于2017年在南通成立南通邁浦特公司。邁浦特—直致力于TCU溫控系統(tǒng)，導(dǎo)熱油系統(tǒng)，高低溫機，模溫機，油溫機，水溫機，油加熱器，電加熱油爐，冷水機，冷熱一體機的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)和技術(shù)咨詢，是為您提供工業(yè)溫度控制技術(shù)及解決方案的供應(yīng)商。

邁浦特借助于多年的成熟經(jīng)驗，以專業(yè)技術(shù)為橡塑材料，壓鑄，食品，化工，醫(yī)療，印刷，包裝，木材，壓機，復(fù)合材料，碳纖維復(fù)材成型，鋰電池隔膜，橡膠輪胎，壓延，鞋材，烘干以及科研行業(yè)提供所需的各種溫控設(shè)備和技術(shù)服務(wù)。主要有產(chǎn)品包括模溫機，油溫機，水溫機，油加熱器，冷水機，電加熱油爐，防爆模溫機，PLC模溫機，水循環(huán)溫度控制機，油循環(huán)溫度控制....

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產(chǎn)品簡介在線詢價

電子芯片制造溫控設(shè)備，控溫范圍 45℃~120℃，精度 PID±1℃（±0.1℃可選），以水為介質(zhì)契合潔凈需求。采用邁浦特定制 PLC，雙 PID 控溫 + 9 組獨立 PID 分段控溫，支持進出口溫度切換，100 組工藝程序預(yù)設(shè)。SUS316L 加熱管防腐蝕，耐溫 - 30℃~200℃水泵保障水循環(huán)穩(wěn)定。10 重安全保護，支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出與Modbus RS485通訊，可 24 小時運行。

電子芯片制造溫控設(shè)備產(chǎn)品詳情

電子芯片制造溫控設(shè)備（MAIPT MPW 系列）產(chǎn)品簡介

支持非標(biāo)定制，免費提供技術(shù)規(guī)格書、方案。

一、產(chǎn)品定位與核心用途

專為電子芯片制造全流程溫控場景研發(fā)設(shè)計，核心用于芯片光刻、蝕刻、薄膜沉積、封裝測試等關(guān)鍵環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)調(diào)控，通過潔凈水循環(huán)穩(wěn)定芯片制造設(shè)備核心部件（如光刻鏡頭、反應(yīng)腔、封裝模具）溫度，避免溫度波動導(dǎo)致芯片良率下降、光刻精度偏差或元件性能衰減。適配 12 英寸 / 8 英寸晶圓生產(chǎn)線、IC 封裝測試等不同規(guī)模芯片制造需求，可應(yīng)對設(shè)備瞬時高溫負荷（如蝕刻過程放熱）與穩(wěn)定溫控需求（如封裝固化恒溫）。設(shè)備支持在 0-40℃環(huán)境溫度、50%-80% 相對濕度、±4℃/h 溫差工況下每周 7 天、每天 24 小時連續(xù)運行，符合半導(dǎo)體芯片制造對環(huán)境穩(wěn)定性與生產(chǎn)連續(xù)性的嚴(yán)苛要求，保障芯片制造質(zhì)量與效率。

二、核心性能特點

1. 精準(zhǔn)控溫，契合芯片制造需求

控溫范圍覆蓋 45℃~120℃（可定制），可根據(jù)芯片制造環(huán)節(jié)靈活設(shè)定：光刻設(shè)備鏡頭溫控需穩(wěn)定維持 25℃±1℃，芯片封裝固化需控制 80℃±1℃，溫控精度達 PID±1℃，可選配 ±0.1℃高精度版本，嚴(yán)格控制溫度偏差在芯片制造允許范圍內(nèi)。采用邁浦特定制 PLC 控溫系統(tǒng)，內(nèi)置雙 PID 加熱冷卻控制與 9 組獨立 PID 溫區(qū)段控制邏輯，可通過 AIPID 實時調(diào)節(jié)比例帶、積分時間與微分時間，快速響應(yīng)溫度變化；支持熱媒介進出口溫度相互切換控溫，適配芯片制造預(yù)熱、恒溫、梯度降溫等不同階段；同時支持 100 組可編工藝程序，每組含 100 條步驟，可預(yù)設(shè)完整溫控曲線，一鍵調(diào)用減少人工干預(yù)，提升工藝重復(fù)性。

2. 潔凈穩(wěn)定的加熱與循環(huán)系統(tǒng)

潔凈加熱設(shè)計：采用直接加熱方式，加熱功率 9~90kW，加熱管為 SUS316L 不銹鋼材質(zhì)，法蘭型連接且搭配陶瓷絕熱設(shè)計，無金屬離子溶出，避免污染循環(huán)介質(zhì)，契合芯片制造對潔凈度的要求；加熱過程無局部過熱，可平穩(wěn)升溫至設(shè)定溫度，減少芯片制造設(shè)備因受熱不均導(dǎo)致的故障。
穩(wěn)定水循環(huán)保障：配備邁浦特定制水循環(huán)泵，耐溫 - 30℃~200℃，軸承采用日本 NSK 軸封，揚程 28~100m、流量 6.5~250m3/h，可根據(jù)芯片制造設(shè)備管路布局定制參數(shù)，確保循環(huán)水均勻覆蓋溫控點，快速傳導(dǎo)熱量；主管路系統(tǒng)為碳鋼材質(zhì)，經(jīng)無縫氬弧焊接工藝處理，密封性強，減少漏水隱患；高溫 Y 型過濾器可過濾水中雜質(zhì)，避免管路堵塞影響溫控穩(wěn)定性。
高效換熱與介質(zhì)適配：以潔凈水為循環(huán)介質(zhì)，管道內(nèi)介質(zhì)容量 8L~50L，無導(dǎo)熱油揮發(fā)污染風(fēng)險；采用邁浦特定制板式換熱器，換熱效率高，實現(xiàn)溫度快速升降與精準(zhǔn)維持；膨脹箱為內(nèi)置型碳鋼材質(zhì)，箱內(nèi)水不參與循環(huán)，減少介質(zhì)氧化，延長使用壽命。

3. 10 重安全保護，規(guī)避制造風(fēng)險

具備 10 重安全保護裝置，多維度保障設(shè)備運行與芯片制造安全：循環(huán)水溫度超安全上限自動切斷電源，防止芯片設(shè)備過熱損壞；電源相位檢測防止泵浦反轉(zhuǎn)并報警，避免水循環(huán)中斷導(dǎo)致溫度驟變；熱繼電器保護泵浦超載，液位開關(guān)實時檢測水位，防止缺水干燒；管路阻塞時通過 BY-PASS 泄壓回路保護泵浦，系統(tǒng)壓力異常自動停止加熱并泄壓；還具備手動 / 自動排氣、短路保護及緊急停止按鈕，降低設(shè)備故障對芯片制造的影響、。

4. 智能數(shù)據(jù)管理，適配合規(guī)要求

配備 7 寸邁浦特定制觸摸顯示屏，實時顯示溫控點溫度、水循環(huán)溫度及溫度曲線，設(shè)定與實際溫度分別顯示，操作直觀易懂。支持 USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，可按時間周期導(dǎo)出溫度數(shù)據(jù)（含設(shè)定值、實際值、告警記錄），數(shù)據(jù)可追溯，符合芯片制造過程數(shù)據(jù)合規(guī)要求；通訊方式標(biāo)配 Modbus RS485，可與芯片制造生產(chǎn)線 DCS/MES 系統(tǒng)聯(lián)動，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與智能化管理，減少人工記錄誤差。

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)（典型機型）

參數(shù)類別	具體參數(shù)
電源規(guī)格	3N-380V-50Hz（可定制），允許電壓波動 ±10%，相間電壓差 ±2%
總功率	9.75~94kW（380V 3N）
總電流	16.5~139A
循環(huán)介質(zhì)	潔凈水（需不含懸浮物，符合芯片制造潔凈要求）
控溫范圍	45℃~120℃
控溫精度	PID±1℃（±0.1℃可選）
控溫方式	PLC（邁浦特定制控溫系統(tǒng)），雙 PID 加熱冷卻控制，9 組獨立 PID 溫區(qū)段控溫，支持進出口溫度切換
加熱功率	9~90kW
水泵性能	邁浦特定制水泵，功率 1.5~5.5kW，揚程 28~100m，流量 6.5~250m3/h，耐溫 - 30℃~200℃
加熱管材質(zhì)	SUS316L 不銹鋼，法蘭型連接，陶瓷絕熱
主管路材質(zhì)	碳鋼，無縫氬弧焊接工藝
進出口管徑	熱媒介、冷卻水進出口及排油口均支持按客戶需求定制
安全保護	溫度異常斷電、電源逆相報警、泵浦超載保護、缺水報警、管路阻塞保護、壓力異常泄壓等 10 重保護
數(shù)據(jù)功能	USB 數(shù)據(jù)導(dǎo)出，實時溫度曲線顯示，Modbus RS485 通訊（其他通訊可定制）
凈重	250~850kg
工作環(huán)境	溫度 0-40℃，相對濕度 50%-80%，溫差 ±4℃/h
換熱面積	0.1~N ㎡（可根據(jù)芯片制造設(shè)備需求定制）

四、安裝與環(huán)境適配要求

1. 安裝規(guī)范

電源配置：需使用三相 380V 50Hz + 地線，建議采用 3xmm2+1xmm2 銅芯電纜線（由需方自備），確保電源穩(wěn)定，避免電壓波動影響控溫精度，防止因電源不穩(wěn)導(dǎo)致芯片制造溫控偏差、。
管路連接：機器熱媒介出入口建議采用硬管連接，需靈活布置時可配耐高溫 350℃不銹鋼軟管（長度不超過 3 米，由需方自備）并加保溫管，減少冷量損耗；冷卻水管路需使用高壓耐熱水管（耐熱約 200℃，由需方自備），接口尺寸可定制、。
介質(zhì)要求：補水及冷卻水需為不含懸浮物的干凈水，壓力控制在 0.15-0.3Mpa 之間，20℃時 PH 值 7.5-8.5，水的硬度＜200mg/L（以 CaCO3 計），避免管路結(jié)垢或污染，保障循環(huán)系統(tǒng)穩(wěn)定運行、。

2. 環(huán)境適配

設(shè)備可直接部署于芯片制造車間配套機房，機架采用碳鋼材質(zhì)（板厚 2mm，噴塑處理），防腐蝕、易清潔，能耐受車間常見的潔凈、低塵環(huán)境，無需特殊改造即可安裝。設(shè)備運行噪音低、振動小，不會對芯片制造設(shè)備（如光刻機、蝕刻機）的精密運行造成干擾，適配芯片制造對環(huán)境的嚴(yán)苛要求。

五、售后服務(wù)保障

1. 保修政策

自設(shè)備送達需方芯片制造場地起 1 年內(nèi)，正常使用下出現(xiàn)故障（如控溫精度下降、水泵故障），供方提供免費維修服務(wù)，所需原廠配件（如 SUS316L 加熱管、邁浦特定制水泵、德國西門子繼電器）由供方免費提供，不收取任何費用；保修期內(nèi)若因人為操作失誤（如介質(zhì)不符合要求導(dǎo)致管路堵塞）或天災(zāi)導(dǎo)致設(shè)備損壞，供方僅收取交通費和零件費；保修期外提供長期維修服務(wù)，收取合理的人工、零件及交通費用、。

2. 故障響應(yīng)

芯片制造生產(chǎn)線停機損失大，設(shè)備發(fā)生故障時，需方技術(shù)人員可先電話通知供方售后服務(wù)人員，詳細描述故障情況，供方售后工程師將在 15 分鐘內(nèi)提供電話指導(dǎo)排障；若故障無法通過電話解決，供方將在 24 小時內(nèi)安排人員（聯(lián)系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②）上門維修，減少設(shè)備停機對芯片制造的影響、。

3. 定制支持

可根據(jù)芯片制造的特殊需求定制配件品牌（如指定無油污染水泵、高潔凈度閥門），也可定制遠程控制功能（PROFINET、PROFIBUS 協(xié)議）、多點溫度監(jiān)測（如同時監(jiān)測反應(yīng)腔與模具溫度）、溫度數(shù)據(jù)審計追蹤（符合半導(dǎo)體行業(yè)數(shù)據(jù)合規(guī)要求）等功能（需額外付費）；還可定制換熱面積與水泵參數(shù)，貼合不同規(guī)模芯片制造設(shè)備的溫控需求，提升設(shè)備適配性。

電子芯片制造溫控設(shè)備（MAIPT MPW 系列）產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書

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關(guān)鍵詞：懸浮物顯示屏過濾器液位開關(guān) 熱繼電器

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