手動探針臺LNP-3RT特點

探針臺材質(zhì)升級：主體材質(zhì)航空級鋁材；卡盤材質(zhì)不銹鋼（可選鍍金），具備更小的接觸電阻，更低的漏電流；

探針臺臺體升級：自適應(yīng)減震臺體，帶標(biāo)準(zhǔn)地線，防止靜電干擾；

標(biāo)配精度高：卡盤X-Y行程精度1um，探針X-Y-Z行程精度1um；

快速升降操作：卡盤快速升降，便于快速分離探針；顯微鏡氣動升降，便于更換物鏡和探針卡夾具；

標(biāo)配氣浮式位移臺：有效隔振，確保移動過程平穩(wěn)，有效提升位移扎針精度；?

多種卡盤可選：可選配高低溫載片臺系統(tǒng)，同軸/三軸/鍍金卡盤可供選擇，滿足不同預(yù)算和多種應(yīng)用場景需求；

針座平臺升級：全新表面處理工藝，相比鍍鉻針座吸附力更強，提高測試精度，還可安裝探針夾具，兼容探針卡測試；

多種探針座可選：不同調(diào)節(jié)精度（0.5um/0.7um/1um）針座可選，DC直流或RF射頻探針座可選；

自帶完整高清成像系統(tǒng)：多種類型顯微鏡可選，帶高清CCD成像系統(tǒng)，可拍照，錄像，標(biāo)尺，可連接顯示器實時觀察；

快速拓展功能：可選配激光器進(jìn)行失效分析/激光切割/激光打標(biāo)；

手動探針臺技術(shù)參數(shù)：

應(yīng)用對象：晶圓（Si/Ge/GaAs/InP/SiC/GaN等）、芯片（邏輯/數(shù)字/模擬/存儲等）、集成電路、顯示面板（LED/OLED/LCD等）、功率器件（IGBT、MOSFET等）、納米器件、光電器件、分立器件（二極管、三極管、場晶體管等）、太陽能電池等；

應(yīng)用方向：DC 直流/（IV、CV、漏電流）測試、介電溫譜測試、FA失效分析測試、器件表征測試、芯片線路測試、MEMS微型機電系統(tǒng)測試、集成電路工程、PCB元器件、WLR晶圓級可靠性、老化測試、RF 射頻測試、高精度電流（100fA 級）測試、高功率/大電流/高電壓測試、光電測試、1/f 噪聲測試等。

手動探針臺聯(lián)用儀器：源表/數(shù)字電橋/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/數(shù)字萬用表/示波器/網(wǎng)絡(luò)分析儀/頻譜分析儀/阻抗分析儀等，根據(jù)需求提供聯(lián)用方案！