臺自動調(diào)心測量儀,空白。
可搭載自動化,是經(jīng)濟型自動化方案的優(yōu)選。
| 項目 | 參數(shù)名稱 | FFT-RDA | FFT-RDA-2 | |
| 諧波分析 | 分析波段 | 1-150upr | 1-512upr | |
| 回轉(zhuǎn)軸系 | FFT max1 | 0.04μm | 0.04μm | |
| FFT max2 | 0.025μm | 0.025μm | ||
| FFT max3 | 0.015μm | 0.015μm | ||
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 6rpm | 6rpm | ||
| 測量直徑 | 300mm | 300mm | ||
| 工件直徑 | 450mm | 450mm | ||
| 傳感器 | 傳感器量程范圍 | ±300μm | ±300μm | |
| 傳感器線性精度 | 3nm+5% | 3nm+5% | ||
| 傳感器分辨率 | 0.001μm | 0.001μm | ||
| 水平臂 | 水平移動范圍 | 165mm | 165mm | |
| 水平凸出量 | 25mm | 25mm | ||
| 圓周檢測器 | 圓周采樣點數(shù) | 16384 | 32768 | |
| 圓周分度精度 | 0.6/1000 | 2/10000 | ||
| 減振系統(tǒng) | 減振方式 | 橡膠減振 | 混合減振(橡膠+氣?。?/td> | |
| 剛性支架 | 方鋼龍骨 | 方鋼龍骨 | ||
































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