本設(shè)備通過對真空系統(tǒng)、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動控制,以及所具有的安全互鎖、智能監(jiān)控、在線狀態(tài)記憶、斷點保護(hù)等功能。使設(shè)備的安全性、重復(fù)性、穩(wěn)定性、可靠性得到有效保證。
產(chǎn)品主要性能指標(biāo):
| 型號 | RIE-24000 |
| 真空系統(tǒng) | 進(jìn)樣室:機(jī)械泵系統(tǒng);刻蝕室:分子泵機(jī)組 |
| 樣品尺寸 | 500×400mm |
| 刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
| 刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
| 自動化程度 | 真空系統(tǒng)、機(jī)械手送/取樣片、下游壓力閉環(huán)控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。 |
| 人機(jī)界面 | Windows環(huán)境、觸摸屏操作 |
| 操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
| 配套件選配 | 可選擇進(jìn)口件或國產(chǎn)件 |
| 送/取樣片方式 | 機(jī)械手自動送/取片 |































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